SemiceraKeramički premaz od silicijum karbidaje zaštitni premaz visokih performansi napravljen od izuzetno tvrdog i otpornog na habanje materijala silicijum karbida (SiC). Premaz se obično nanosi na površinu podloge CVD ili PVD postupkom sačestice silicijum karbida, pruža odličnu otpornost na hemijsku koroziju i stabilnost na visokim temperaturama. Stoga se keramički premaz od silicijum karbida široko koristi u ključnim komponentama opreme za proizvodnju poluprovodnika.
U proizvodnji poluprovodnika,SiC premazmože izdržati ekstremno visoke temperature do 1600°C, tako da se keramički premaz od silicijum karbida često koristi kao zaštitni sloj za opremu ili alate za sprečavanje oštećenja u visokim temperaturama ili korozivnim okruženjima.
u isto vrijeme,keramički premaz od silicijum karbidamože odoljeti eroziji kiselina, lužina, oksida i drugih kemijskih reagensa i ima visoku otpornost na koroziju na razne kemijske tvari. Stoga je ovaj proizvod pogodan za različita korozivna okruženja u industriji poluvodiča.
Štaviše, u poređenju sa drugim keramičkim materijalima, SiC ima veću toplotnu provodljivost i može efikasno provoditi toplotu. Ova karakteristika određuje da je u poluprovodničkim procesima koji zahtevaju preciznu kontrolu temperature, visoka toplotna provodljivostKeramički premaz od silicijum karbidapomaže u ravnomjernoj disperziji topline, sprječavanju lokalnog pregrijavanja i osiguravanju da uređaj radi na optimalnoj temperaturi.
| Osnovna fizička svojstva CVD sic premaza | |
| Nekretnina | Tipična vrijednost |
| Crystal Structure | FCC β faza polikristalna, uglavnom (111) orijentirana |
| Gustina | 3,21 g/cm³ |
| Tvrdoća | 2500 Vickers tvrdoća (500g opterećenje) |
| Veličina zrna | 2~10μm |
| Chemical Purity | 99,99995% |
| Heat Capacity | 640 J·kg-1·K-1 |
| Temperatura sublimacije | 2700℃ |
| Flexural Strength | 415 MPa RT 4 tačke |
| Youngov modul | 430 Gpa 4pt krivina, 1300℃ |
| Toplotna provodljivost | 300W·m-1·K-1 |
| termička ekspanzija (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
