Semicera's10x10mm nepolarna M-ravan aluminijumska podlogaje pomno dizajniran da ispuni zahtjevne zahtjeve naprednih optoelektronskih aplikacija. Ovaj supstrat ima nepolarnu M-ravninu orijentaciju, što je kritično za smanjenje efekata polarizacije u uređajima kao što su LED i laserske diode, što dovodi do poboljšanih performansi i efikasnosti.
The10x10mm nepolarna M-ravan aluminijumska podlogaizrađen je sa izuzetnim kristalnim kvalitetom, osiguravajući minimalnu gustinu defekata i vrhunski strukturalni integritet. To ga čini idealnim izborom za epitaksijalni rast visokokvalitetnih III-nitridnih filmova, koji su neophodni za razvoj optoelektronskih uređaja sljedeće generacije.
Precizni inženjering Semicera osigurava da svaki10x10mm nepolarna M-ravan aluminijumska podloganudi dosljednu debljinu i ravnost površine, koji su ključni za ravnomjerno nanošenje filma i izradu uređaja. Osim toga, kompaktna veličina supstrata ga čini pogodnim i za istraživačka i za proizvodna okruženja, omogućavajući fleksibilnu upotrebu u različitim aplikacijama. Sa svojom odličnom termičkom i hemijskom stabilnošću, ova podloga pruža pouzdanu osnovu za razvoj najsavremenijih optoelektronskih tehnologija.
| Predmeti | Proizvodnja | Istraživanja | Dummy |
| Crystal Parameters | |||
| Polytype | 4H | ||
| Greška u orijentaciji površine | <11-20 >4±0,15° | ||
| Električni parametri | |||
| Dopant | n-tip dušika | ||
| Otpornost | 0,015-0,025 ohm·cm | ||
| Mehanički parametri | |||
| Prečnik | 150,0±0,2 mm | ||
| Debljina | 350±25 μm | ||
| Primarna ravna orijentacija | [1-100]±5° | ||
| Primarna ravna dužina | 47,5±1,5 mm | ||
| Sekundarni stan | Nema | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Naklon | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Prednja (Si-face) hrapavost (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Struktura | |||
| Gustoća mikropipe | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Metalne nečistoće | ≤5E10atoma/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Front Quality | |||
| Front | Si | ||
| Završna obrada | Si-face CMP | ||
| Čestice | ≤60ea/wafer (veličina≥0,3μm) | NA | |
| Ogrebotine | ≤5ea/mm. Kumulativna dužina ≤Prečnik | Kumulativna dužina≤2*Prečnik | NA |
| Narandžina kora/kostice/mrlje/pruge/pukotine/kontaminacija | Nema | NA | |
| Ivične strugotine/udubljenja/frakture/heksadecimalne ploče | Nema | ||
| Politipske oblasti | Nema | Kumulativna površina≤20% | Kumulativna površina≤30% |
| Prednje lasersko obeležavanje | Nema | ||
| Back Quality | |||
| Zadnji završetak | C-face CMP | ||
| Ogrebotine | ≤5ea/mm, kumulativna dužina≤2*Prečnik | NA | |
| Defekti na leđima (ivičnjaci/udubljenja) | Nema | ||
| Hrapavost leđa | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Lasersko označavanje leđa | 1 mm (od gornje ivice) | ||
| Edge | |||
| Edge | Chamfer | ||
| Pakovanje | |||
| Pakovanje | Epi-ready sa vakum pakovanjem Multi-wafer kaseta pakovanje | ||
| *Napomene: "NA" znači da nema zahtjeva. Stavke koje nisu spomenute mogu se odnositi na SEMI-STD. | |||
