Monokristalni materijal od silicijum karbida (SiC) ima veliku širinu pojasa (~Si 3 puta), visoku toplotnu provodljivost (~Si 3,3 puta ili GaAs 10 puta), visoku stopu migracije zasićenja elektronima (~Si 2,5 puta), visok električni proboj. polje (~Si 10 puta ili GaAs 5 puta) i druge izvanredne karakteristike.
Poluvodički materijali treće generacije uglavnom uključuju SiC, GaN, dijamant, itd., jer je njegova širina pojasnog pojasa (Eg) veća ili jednaka 2,3 elektron volta (eV), također poznati kao poluvodički materijali sa širokim pojasom. U poređenju sa poluprovodničkim materijalima prve i druge generacije, poluprovodnički materijali treće generacije imaju prednosti visoke toplotne provodljivosti, visokog električnog polja, visoke zasićene brzine migracije elektrona i visoke energije vezivanja, što može zadovoljiti nove zahteve moderne elektronske tehnologije za visoke temperatura, velika snaga, visoki pritisak, visoka frekvencija i otpornost na zračenje i druge teške uslove. Ima važne izglede za primjenu u oblastima nacionalne odbrane, avijacije, svemira, istraživanja nafte, optičkog skladištenja, itd., i može smanjiti gubitak energije za više od 50% u mnogim strateškim industrijama kao što su širokopojasne komunikacije, solarna energija, proizvodnja automobila, poluprovodničke rasvjete i pametne mreže, te mogu smanjiti zapreminu opreme za više od 75%, što je od prekretnice za razvoj ljudske nauke i tehnologije.
Semicera energy može da obezbedi kupcima visokokvalitetne provodljive (provodljive), poluizolacione (poluizolacione), HPSI (poluizolacione visoke čistoće) podloge od silicijum karbida; Osim toga, kupcima možemo ponuditi homogene i heterogene epitaksijalne ploče od silicijum karbida; Epitaksijalni lim također možemo prilagoditi specifičnim potrebama kupaca, a ne postoji minimalna količina narudžbe.
| Predmeti | Proizvodnja | Istraživanja | Dummy |
| Crystal Parameters | |||
| Polytype | 4H | ||
| Greška u orijentaciji površine | <11-20 >4±0,15° | ||
| Električni parametri | |||
| Dopant | n-tip dušika | ||
| Otpornost | 0,015-0,025 ohm·cm | ||
| Mehanički parametri | |||
| Prečnik | 150,0±0,2 mm | ||
| Debljina | 350±25 μm | ||
| Primarna ravna orijentacija | [1-100]±5° | ||
| Primarna ravna dužina | 47,5±1,5 mm | ||
| Sekundarni stan | Nema | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Naklon | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Prednja (Si-face) hrapavost (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Struktura | |||
| Gustoća mikropipe | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Metalne nečistoće | ≤5E10atoma/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Front Quality | |||
| Front | Si | ||
| Završna obrada | Si-face CMP | ||
| Čestice | ≤60ea/wafer (veličina≥0,3μm) | NA | |
| Ogrebotine | ≤5ea/mm. Kumulativna dužina ≤Prečnik | Kumulativna dužina≤2*Prečnik | NA |
| Narandžina kora/kostice/mrlje/pruge/pukotine/kontaminacija | Nema | NA | |
| Ivične strugotine/udubljenja/frakture/heksadecimalne ploče | Nema | ||
| Politipske oblasti | Nema | Kumulativna površina≤20% | Kumulativna površina≤30% |
| Prednje lasersko obeležavanje | Nema | ||
| Back Quality | |||
| Zadnji završetak | C-face CMP | ||
| Ogrebotine | ≤5ea/mm, kumulativna dužina≤2*Prečnik | NA | |
| Defekti na leđima (ivičnjaci/udubljenja) | Nema | ||
| Hrapavost leđa | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Lasersko označavanje leđa | 1 mm (od gornje ivice) | ||
| Edge | |||
| Edge | Chamfer | ||
| Pakovanje | |||
| Pakovanje | Epi-ready sa vakum pakovanjem Multi-wafer kaseta pakovanje | ||
| *Napomene: "NA" znači da nema zahtjeva. Stavke koje nisu spomenute mogu se odnositi na SEMI-STD. | |||
