Plavo/zelena LED epitaksija od semicera nudi vrhunska rješenja za proizvodnju LED dioda visokih performansi. Dizajnirana da podrži napredne procese epitaksijalnog rasta, semicerina Blue/green LED epitaksija tehnologija poboljšava efikasnost i preciznost u proizvodnji plavih i zelenih LED dioda, kritičnih za različite optoelektronske primjene. Koristeći najmodernije Si Epitaxy i SiC Epitaxy, ovo rješenje osigurava odličan kvalitet i izdržljivost.
U procesu proizvodnje, MOCVD Susceptor igra ključnu ulogu, zajedno sa komponentama kao što su PSS Etching Carrier, ICP Etching Carrier i RTP Carrier, koji optimizuju okruženje za epitaksijalno rast. Semicera Plavo/zelena LED epitaksija je dizajnirana da obezbedi stabilnu podršku za LED epitaksijalni susceptor, bačvasti susceptor i monokristalni silicijum, obezbeđujući konzistentne, visokokvalitetne rezultate.
Ovaj proces epitaksije je od vitalnog značaja za stvaranje fotonaponskih delova i podržava aplikacije kao što je GaN na SiC epitaksiji, poboljšavajući ukupnu efikasnost poluprovodnika. Bilo da je u konfiguraciji Palačinka ili se koristi u drugim naprednim postavkama, semicera Blue/green LED epitaksijska rješenja nude pouzdane performanse, pomažući proizvođačima da ispune rastuću potražnju za visokokvalitetnim LED komponentama.
Glavne karakteristike:
1. Otpornost na oksidaciju na visokim temperaturama:
otpornost na oksidaciju je i dalje vrlo dobra kada je temperatura čak 1600 C.
2. Visoka čistoća: napravljeno hemijskim taloženjem pare pod uslovima hlorisanja na visokoj temperaturi.
3. Otpornost na eroziju: visoka tvrdoća, kompaktna površina, fine čestice.
4. Otpornost na koroziju: kiseline, alkalije, soli i organski reagensi.
Glavne specifikacijeCVD-SIC premaz
| SiC-CVD svojstva | ||
| Crystal Structure | FCC β faza | |
| Gustina | g/cm ³ | 3.21 |
| Tvrdoća | Vickers tvrdoća | 2500 |
| Veličina zrna | μm | 2~10 |
| Chemical Purity | % | 99,99995 |
| Heat Capacity | J·kg-1 ·K-1 | 640 |
| Temperatura sublimacije | ℃ | 2700 |
| Felexural Strength | MPa (RT 4 tačke) | 415 |
| Youngov modul | Gpa (4pt savijanje, 1300℃) | 430 |
| toplinska ekspanzija (CTE) | 10-6K-1 | 4.5 |
| Toplotna provodljivost | (W/mK) | 300 |
