RTPCVD SiC prstenovise široko koriste u industrijskim i naučnim poljima u visokim temperaturama i korozivnim okruženjima. Ima važnu ulogu u proizvodnji poluprovodnika, optoelektronici, preciznim mašinama i hemijskoj industriji. Specifične aplikacije uključuju:
1. Proizvodnja poluprovodnika:RTP CVD SiC prstenovimože se koristiti za grijanje i hlađenje poluvodičke opreme, osiguravajući stabilnu kontrolu temperature i osiguravajući točnost i konzistentnost procesa.
2. Optoelektronika: Zbog svoje odlične toplotne provodljivosti i otpornosti na visoke temperature, RTPCVD SiC prstenovimože se koristiti kao materijal za podršku i rasipanje topline za lasere, optičku komunikacijsku opremu i optičke komponente.
3. Precizne mašine: RTP CVD SiC prstenovi se mogu koristiti za precizne instrumente i opremu u visokim temperaturama i korozivnim okruženjima, kao što su visokotemperaturne peći, vakuum uređaji i hemijski reaktori.
4. Hemijska industrija: Zbog svoje otpornosti na koroziju i hemijske stabilnosti, RTP CVD SiC prstenovi se mogu koristiti u kontejnerima, cevima i reaktorima u hemijskim reakcijama i katalitičkim procesima.
Epi System
RTP sistem
CVD sistem
Performanse proizvoda:
1. Upoznajte proces ispod 28nm
2. Super otpornost na koroziju
3. Super čiste performanse
4. Super tvrdoća
5. Visoka gustina
6. Otpornost na visoke temperature
7. Otpornost na habanje
Primjena proizvoda:
Materijali od silicijum karbida imaju karakteristike visoke tvrdoće, otpornosti na habanje, otpornosti na koroziju i visoke temperaturne stabilnosti. Proizvodi sa odličnim sveobuhvatnim performansama široko se koriste u procesima suhog jetkanja i TF/difuzije.
Performanse proizvoda:
1. Upoznajte proces ispod 28nm
2. Super otpornost na koroziju
3. Super čiste performanse
4. Super tvrdoća
5. Visoka gustina
6. Otpornost na visoke temperature
7. Otpornost na habanje
Razvoj kompozitnog procesa:
Graphite +Sic Coating
Solide CvD sic
Sinterovani SiC+CVD
SicSintered SiC
Razvoj više vrsta proizvoda:
Prsten
Table
Susceptor
Shower Head
