Grafitni susceptor sa premazom od silicijum karbida 6 komada Nosač za pločice od 6 inča

Grafitni susceptor saSilicijum karbidni premaz, 6 komada6 inčni nosač za pločiceod semicera nudi izuzetnu izdržljivost i toplotnu provodljivost za primjene epitaksijalnog rasta visokih performansi. Semicera je specijalizovana za napredne prijemnike dizajnirane da poboljšaju procese kao što suSi EpitaxyiSiC Epitaxy, osiguravajući pouzdane performanse u zahtjevnim poluvodičkim okruženjima.

Ovaj susceptor je posebno dizajniran za upotrebu saMOCVD Susceptorsistema i nudi kompatibilnost sa različitim nosačima kao što su PSS Etching Carrier, ICP Etching Carrier i RTP Carrier. Idealan je za proizvodnju monokristalnog silicijuma i postavke LED epitaksijalnog susceptora, nudeći svestranost u različitim konfiguracijama, uključujući dizajne bačvastog susceptora i palačinke.

Grafitni susceptor sa premazom od silicijum karbida takođe podržava aplikacije u sektoru solarne energije kroz svoju integraciju sa fotonaponskim delovima i ističe se u GaN na procesima SiC epitaksije. Njegov kapacitet nosača pločice od 6 inča osigurava visoku propusnost, što ga čini osnovnim alatom za proizvođače u poluvodičkoj i fotonaponskoj industriji.