SiC nosač/susceptor visoke čistoće

Istaknuta slika SiC nosača/susceptora visoke čistoće

Kratak opis:

Nosivi disk od silicijum karbida je takođe poznat kao SIC ležište, disk za jetkanje od silicijum karbida, ICP disk za jetkanje. Posuda od silicijum karbida za LED jetkanje (SiC tray) φ600mm je poseban pribor za duboko silikonsko jetkanje (ICP mašina za jetkanje).

Pošaljite nam email

Detalji o proizvodu

Oznake proizvoda

Opis

Keramika od silicijum karbida ima odlične mehaničke osobine na sobnoj temperaturi, kao što su visoka čvrstoća, visoka tvrdoća, visoki modul elastičnosti, itd., takođe ima odličnu stabilnost na visokim temperaturama kao što je visoka toplotna provodljivost, nizak koeficijent toplotnog širenja i dobra specifična krutost i optički performanse obrade.
Posebno su pogodni za proizvodnju preciznih keramičkih dijelova za opremu za integrirano kolo kao što su litografske mašine, koje se uglavnom koriste za proizvodnju SiC nosača/suceptora, SiC čamca za pločice, diska za usisavanje, ploče za hlađenje vodom, reflektora za precizno mjerenje, rešetke i drugih keramičkih strukturnih dijelova

nosilac2

carrier3

nosilac4

Prednosti

Otpornost na visoke temperature: normalna upotreba na 1800 ℃
Visoka toplotna provodljivost: ekvivalentna grafitnom materijalu
Visoka tvrdoća: tvrdoća druga nakon dijamanta, bor nitrida
Otpornost na koroziju: jake kiseline i alkalije nemaju koroziju, otpornost na koroziju je bolja od volfram karbida i glinice
Mala težina: male gustine, blizu aluminijuma
Nema deformacija: nizak koeficijent toplinskog širenja
Otpornost na termalni udar: može izdržati oštre promjene temperature, otporan na termalni udar i ima stabilne performanse
Nosači od silicijum karbida, kao što su nosači za jetkanje, ICP suceptor za jetkanje, široko se koriste u poluprovodničkim CVD-ima, vakuumskom raspršivanju itd. Kupcima možemo pružiti prilagođene nosače pločica od silicijum i silicijum karbidnih materijala za različite primene.

Prednosti

Nekretnina	Vrijednost	Metoda
Gustina	3,21 g/cc	Umivaonik-plovka i dimenzija
Specifična toplota	0,66 J/g °K	Pulsni laserski blic
Čvrstoća na savijanje	450 MPa560 MPa	4 tačke krivine, RT4 tačke krivine, 1300°
Čvrstoća loma	2,94 MPa m1/2	Mikroindentacija
Tvrdoća	2800	Vicker's, opterećenje 500g
Modul elastičnosti Youngov modul	450 GPa430 GPa	4 pt krivina, RT4 pt krivina, 1300 °C
Veličina zrna	2 – 10 µm	SEM

Profil kompanije

WeiTai Energy Technology Co., Ltd. je vodeći dobavljač napredne poluvodičke keramike i jedini proizvođač u Kini koji istovremeno može osigurati silicij karbidnu keramiku visoke čistoće (posebno prekristalizirani SiC) i CVD SiC premaz. Pored toga, naša kompanija je takođe posvećena keramičkim poljima kao što su glinica, aluminijum nitrid, cirkonijum i silicijum nitrid, itd.

Naši glavni proizvodi uključuju: disk za jetkanje od silicijum karbida, vuču za čamce od silicijum karbida, čamac od silicijum karbida (fotonaponska i poluprovodnička), cijev za peć od silicijum karbida, konzolnu lopaticu od silicijum karbida, stezne glave od silicijum karbida, gredu od silicijum karbida kao i CV Ta, kao i gredu od silicijum karbida, premazivanje. Proizvodi koji se uglavnom koriste u poluvodičkoj i fotonaponskoj industriji, kao što su oprema za rast kristala, epitaksija, jetkanje, pakovanje, peći za oblaganje i difuziju, itd.
o (2)