Izostatski PECVD grafitni brod

Izostatski PECVD grafitni čamac Istaknuta slika

Kratak opis:

Izostatski PECVD grafitni čamac se široko koristi u raznim vezama proizvodnje poluvodiča, kao što je taloženje polisilicijumskog filma, taloženje oksidnog filma, taloženje nitridnog filma, itd. Njegove odlične performanse čine ga idealnim nosačem pločica u PECVD procesu.

Pošaljite nam email

Detalji o proizvodu

Oznake proizvoda

SEMICERA izostatski PECVD grafitni čamac je grafitni proizvod visoke čistoće, visoke gustoće dizajniran za podršku pločica u procesu PECVD (plazma poboljšano kemijsko taloženje pare). SEMICERA koristi naprednu tehnologiju izostatičkog prešanja kako bi osigurala da grafitni čamac ima odličnu otpornost na visoke temperature, otpornost na koroziju, stabilnost dimenzija i dobru toplinsku provodljivost, što je nezamjenjiv potrošni materijal u procesu proizvodnje poluvodiča.

SEMICERA izostatski PECVD grafitni čamac ima sljedeće prednosti:

▪ Visoka čistoća: Grafitni materijal je visoke čistoće i niskog sadržaja nečistoća kako bi se izbjegla kontaminacija površine pločice.

▪ Visoka gustina: Visoka gustina, visoka mehanička čvrstoća, može izdržati visoku temperaturu i visoko vakuumsko okruženje.

▪ Dobra stabilnost dimenzija: Mala promjena dimenzija na visokoj temperaturi kako bi se osigurala stabilnost procesa.

▪ Odlična toplotna provodljivost: Efikasno prenosi toplotu kako bi se sprečilo pregrijavanje pločice.

▪ Snažna otpornost na koroziju: Može se oduprijeti eroziji raznim korozivnim plinovima i plazmom.

Parametar performansi	semicera	SGL R6510	Parametar performansi
Zapreminska gustina (g/cm3)	1.91	1.83	1.85
Čvrstoća na savijanje (MPa)	63	60	49
Čvrstoća na pritisak (MPa)	135	130	103
Tvrdoća po Shoreu (HS)	70	64	60
Koeficijent toplinske ekspanzije (10-6/K)	85	105	130
Koeficijent toplinske ekspanzije (10-6/K)	5.85	4.2	5.0
Otpornost (μΩm)	11-13	13	10

Prednosti odabira nas:
▪ Izbor materijala: Grafitni materijali visoke čistoće se koriste kako bi se osigurao kvalitet proizvoda.
▪ Tehnologija obrade: Izostatičko prešanje se koristi da bi se osigurala gustina i ujednačenost proizvoda.
▪ Prilagodba veličine: Grafitni čamci različitih veličina i oblika mogu se prilagoditi prema potrebama kupaca.
▪ Površinska obrada: Predviđene su različite metode površinske obrade, kao što je oblaganje silicijum karbidom, bor nitridom, itd., kako bi se zadovoljili različiti zahtjevi procesa.