Oprema za lasersko mikromlazno rezanje (LMJ) može se koristiti u industriji poluprovodnika

Kratak opis:

Laserska mikromlazna tehnologija (LMJ) je metoda laserske obrade koja kombinuje laser sa vodenim mlazom „tankim kao dlaka” i precizno vodi laserski snop do pozicije obrade kroz totalnu refleksiju impulsa u mikrovodenom mlazu na neki način. slično tradicionalnim optičkim vlaknima. Mlaz vode kontinuirano hladi područje rezanja i efikasno uklanja ostatke obrade.


Detalji o proizvodu

Oznake proizvoda

Prednosti LMJ obrade

Urođeni nedostaci regularne laserske obrade mogu se prevazići pametnom upotrebom laserske laserske mikro mlazne (LMJ) tehnologije za propagiranje optičkih karakteristika vode i zraka. Ova tehnologija omogućava da se laserski impulsi u potpunosti reflektuju u obrađenom vodenom mlazu visoke čistoće na neometani način da dođu do površine obrade kao kod optičkih vlakana.

Oprema za lasersku obradu Microjet-2-3
fcghjdxfrg

Glavne karakteristike LMJ tehnologije su:

1. Laserski snop je stubasta (paralelna) struktura.

2. Laserski puls se prenosi u mlazu vode poput optičkog vlakna, bez ikakvih smetnji u okolini.

3. Laserski snop je fokusiran u LMJ opremi, a visina obrađene površine se ne menja tokom celog procesa obrade, tako da ne treba da nastavi fokusiranje sa promenom dubine obrade tokom obrade.

4. Neprekidno čistite površinu.

mikro-mlazna tehnologija laserskog rezanja (1)

5. Pored ablacije materijala radnog komada svakim laserskim impulsom, svake pojedinačne jedinice vremena od početka svakog impulsa do sljedećeg impulsa, obrađeni materijal je u stanju vode za hlađenje u realnom vremenu oko 99% vremena , što gotovo eliminiše zonu zahvaćenu toplotom i sloj pretopljenog sloja, ali održava visoku efikasnost obrade.

zsdfgafdeg

Opća specifikacija

LCSA-100

LCSA-200

Volumen radne površine

125 x 200 x 100

460×460×300

Linearna osa XY

Linearni motor. Linearni motor

Linearni motor. Linearni motor

Linearna osa Z

100

300

Preciznost pozicioniranja μm

+ / - 5

+ / - 3

Ponovljena tačnost pozicioniranja μm

+ / - 2

+ / - 1

Ubrzanje G

0.5

1

Numerička kontrola

3-os

3-os

Laser

 

 

Laserski tip

DPSS Nd: YAG

DPSS Nd: YAG, puls

Talasna dužina nm

532/1064

532/1064

Nazivna snaga W

50/100/200

200/400

Mlaz vode

 

 

Prečnik mlaznice μm

25-80

25-80

Pritisak mlaznice bar

100-600

0-600

Veličina/težina

 

 

Dimenzije (mašina) (Š x D x V)

1050 x 800 x 1870

1200 x 1200 x 2000

Dimenzije (upravljački ormar) (Š x D x V)

700 x 2300 x 1600

700 x 2300 x 1600

Težina (oprema) kg

1170

2500-3000

Težina (kontrolnog ormara) kg

700-750

700-750

Sveobuhvatna potrošnja energije

 

 

Input

AC 230 V +6%/ -10%, jednosmjerno 50/60 Hz ±1%

AC 400 V +6%/-10%, 3-fazni 50/60 Hz ±1%

Vrhunska vrijednost

2.5kVA

2.5kVA

Join

Kabl za napajanje 10 m: P+N+E, 1,5 mm2

Kabl za napajanje 10 m: P+N+E, 1,5 mm2

Opseg primjene korisnika u industriji poluvodiča

≤4 inča okrugli ingot

≤4 inča kriške ingota

≤4 inča urezivanje ingota

 

≤6 inča okrugli ingot

≤6 inča kriške ingota

≤6 inča urezivanje ingota

Mašina ispunjava teorijsku vrijednost za kružno/rezanje/rezanje od 8 inča, a specifični praktični rezultati moraju biti optimizirana strategija rezanja

ZFVBsdF
mikro-mlazna tehnologija laserskog rezanja (1)
mikro-mlazna tehnologija laserskog rezanja (2)

Semicera Radno mjesto Radno mesto Semicera 2 Oprema mašina CNN obrada, hemijsko čišćenje, CVD premazivanje Naša usluga


  • Prethodno:
  • sljedeće: