Primjena silicijum karbidne keramike u polju poluprovodnika

Poluprovodnici:

Industrija poluprovodnika slijedi industrijski zakon “jedna generacija tehnologije, jedna generacija procesa i jedna generacija opreme”, a nadogradnja i iteracija poluvodičke opreme u velikoj mjeri ovisi o tehnološkom proboju preciznih dijelova. Među njima, precizni keramički dijelovi su najreprezentativniji materijali za precizne poluvodičke dijelove, koji imaju važnu primjenu u nizu glavnih proizvodnih veza poluvodiča kao što su hemijsko taloženje parom, fizičko taloženje pare, implantacija jona i jetkanje. Kao što su ležajevi, vodilice, obloge, elektrostatičke stezne glave, mehaničke ruke za rukovanje, itd. Naročito unutar šupljine opreme, igra ulogu podrške, zaštite i skretanja.

640

Od 2023. godine, Holandija i Japan su takođe sukcesivno izdavali nove propise ili spoljnotrgovinske uredbe o kontroli, dodajući propise o izvoznim dozvolama za poluprovodničku opremu uključujući mašine za litografiju, a trend antiglobalizacije poluprovodnika postepeno se javlja. Važnost nezavisne kontrole lanca snabdevanja postaje sve istaknutija. Suočene sa zahtjevom za lokalizacijom dijelova poluvodičke opreme, domaće kompanije aktivno promoviraju industrijski razvoj. Zhongci Electronics je realizirao lokalizaciju visokotehnoloških preciznih dijelova kao što su grijaće ploče i elektrostatičke stezne glave, rješavajući problem „uskog grla“ domaće industrije poluvodičke opreme; Dezhi New Materials, vodeći domaći dobavljač grafitnih baza obloženih SiC i prstenova za jetkanje SiC, uspješno je završio finansiranje od 100 miliona juana, itd....
Keramičke podloge visoke provodljivosti od silicijum nitrida:

Keramičke podloge od silicijum nitrida uglavnom se koriste u energetskim jedinicama, poluvodičkim uređajima i inverterima čisto električnih vozila (EV) i hibridnih električnih vozila (HEV), i imaju ogroman tržišni potencijal i izglede za primenu.

640 (1)

Trenutno, keramički materijali podloge od silicijum nitrida visoke toplote za komercijalne primene zahtevaju toplotnu provodljivost ≥85 W/(m·K), čvrstoću na savijanje ≥650MPa i žilavost loma 5~7MPa·m1/2. Kompanije koje zaista imaju mogućnost masovne proizvodnje keramičkih supstrata od silicijum nitrida visoke toplotne provodljivosti su uglavnom Toshiba Group, Hitachi Metals, Japan Electric Chemical, Japan Maruwa i Japan Fine Ceramics.

Domaća istraživanja keramičkih supstrata od silicijum nitrida takođe su postigla određeni napredak. Toplotna provodljivost keramičkog supstrata od silicijum nitrida pripremljenog postupkom livenja trake pekinškog ogranka kompanije Sinoma High-Tech Nitride Ceramics Co., Ltd. je 100 W/(m·K); Peking Sinoma Artificial Crystal Research Institute Co., Ltd. je uspješno pripremio keramičku podlogu od silicijum nitrida sa čvrstoćom na savijanje od 700-800MPa, žilavošću na lom ≥8MPa·m1/2 i toplotnom provodljivošću ≥80W/(m·K) optimizacijom metode i procesa sinterovanja.


Vrijeme objave: 29.10.2024