Svi tanki filmovi koji se koriste u proizvodnji poluvodiča imaju otpornost, a otpornost filma ima direktan utjecaj na performanse uređaja. Obično ne mjerimo apsolutni otpor filma, već koristimo otpor lima da ga karakteriziramo.
Šta su otpornost ploče i zapreminska otpornost?
Volumenska otpornost, također poznata kao zapreminska otpornost, je svojstvo materijala koje karakterizira koliko materijal ometa protok električne struje. Uobičajeni simbol ρ predstavlja, jedinica je Ω.
Otpornost ploče, poznata i kao otpornost na listove, engleski naziv je sheet otpor, što se odnosi na vrijednost otpora filma po jedinici površine. Uobičajeni simboli Rs ili ρs za izražavanje, jedinica je Ω/sq ili Ω/□
Odnos između njih je: otpor lima = zapreminski otpor/debljina filma, odnosno Rs =ρ/t
Zašto mjeriti otpor ploče?
Mjerenje apsolutne otpornosti filma zahtijeva precizno poznavanje geometrijskih dimenzija filma (dužina, širina, debljina), koje ima mnogo varijabli i vrlo je složeno za vrlo tanke ili nepravilno oblikovane filmove. Otpornost lima je povezana samo sa debljinom filma i može se brzo i direktno testirati bez komplikovanih proračuna veličine.
Koje folije trebaju za mjerenje otpornosti ploče?
Općenito, kvadratni otpor provodnih filmova i poluvodičkih filmova treba mjeriti, dok izolacijskih filmova nije potrebno mjeriti.
U poluprovodničkom dopiranju, također se mjeri otpor lima silicijuma.
Kako izmjeriti kvadratni otpor?
Metoda sa četiri sonde se uglavnom koristi u industriji. Metoda sa četiri sonde može mjeriti kvadratni otpor u rasponu od 1E-3 do 1E+9Ω/sq. Metoda sa četiri sonde može izbjeći greške mjerenja zbog kontaktnog otpora između sonde i uzorka.
Metode mjerenja:
1) Postavite četiri linearno raspoređene sonde na površinu uzorka.
2) Primijenite konstantnu struju između dvije vanjske sonde.
3) Odredite otpor mjerenjem razlike potencijala između dvije unutrašnje sonde
RS : otpor lima
ΔV: Promjena napona mjerena između unutrašnjih sondi
I : Struja primijenjena između vanjskih sondi
Vrijeme objave: Mar-29-2024