U opremi za plazma jetkanje, keramičke komponente igraju ključnu ulogu, uključujući iprsten za fokusiranje.The prsten za fokusiranje, postavljena oko pločice iu direktnom kontaktu s njom, neophodna je za fokusiranje plazme na pločicu primjenom napona na prsten. Ovo poboljšava uniformnost procesa graviranja.
Primena SiC fokusnih prstenova u mašinama za jetkanje
SiC CVD komponenteu mašinama za graviranje, kao nprprstenovi za fokus, plinske tuš glave, ploče i ivični prstenovi, favorizovani su zbog niske reaktivnosti SiC-a sa gasovima za jetkanje na bazi hlora i fluora i njegove provodljivosti, što ga čini idealnim materijalom za opremu za plazma jetkanje.
Prednosti SiC-a kao materijala za fokusni prsten
Zbog direktnog izlaganja plazmi u vakuumskoj reakcijskoj komori, fokusni prstenovi moraju biti izrađeni od materijala otpornih na plazmu. Tradicionalni fokusni prstenovi, napravljeni od silicijuma ili kvarca, pate od loše otpornosti na jetkanje u plazmi na bazi fluora, što dovodi do brze korozije i smanjene efikasnosti.
Poređenje između Si i CVD SiC fokusnih prstenova:
1. Veća gustina:Smanjuje volumen jetkanja.
2. Široki pojas: Pruža odličnu izolaciju.
3. Visoka toplinska vodljivost i nizak koeficijent ekspanzije: Otporan na termički udar.
4. Visoka elastičnost:Dobra otpornost na mehanički uticaj.
5. Visoka tvrdoća: Otporan na habanje i koroziju.
SiC dijeli električnu provodljivost silicijuma dok nudi superiornu otpornost na jonsko jetkanje. Kako minijaturizacija integriranog kola napreduje, potražnja za efikasnijim procesima jetkanja raste. Oprema za jetkanje plazmom, posebno ona koja koristi kapacitivnu spregnutu plazmu (CCP), zahtijeva visoku energiju plazme,SiC fokusni prstenovisve popularniji.
Si i CVD SiC parametri fokusnog prstena:
| Parametar | silicijum (Si) | CVD silicijum karbid (SiC) |
| Gustina (g/cm³) | 2.33 | 3.21 |
| Band Gap (eV) | 1.12 | 2.3 |
| Toplotna provodljivost (W/cm°C) | 1.5 | 5 |
| Koeficijent toplinske ekspanzije (x10⁻⁶/°C) | 2.6 | 4 |
| Modul elastičnosti (GPa) | 150 | 440 |
| Tvrdoća | Niže | Više |
Proces proizvodnje SiC fokusnih prstenova
U poluvodičkoj opremi, CVD (Chemical Vapor Deposition) se obično koristi za proizvodnju SiC komponenti. Fokusni prstenovi se proizvode taloženjem SiC-a u određene oblike taloženjem parom, nakon čega slijedi mehanička obrada kako bi se formirao konačni proizvod. Omjer materijala za taloženje pare je fiksiran nakon opsežnog eksperimentiranja, čineći parametre poput otpornosti konzistentnim. Međutim, različita oprema za graviranje može zahtijevati fokusne prstenove s različitim otporima, što zahtijeva nove eksperimente o odnosu materijala za svaku specifikaciju, što je dugotrajno i skupo.
OdabiromSiC fokusni prstenoviodSemicera Semiconductor, kupci mogu postići prednosti dužih ciklusa zamjene i superiornih performansi bez značajnog povećanja troškova.
Komponente brze termičke obrade (RTP).
Izuzetna termička svojstva CVD SiC čine ga idealnim za RTP aplikacije. RTP komponente, uključujući rubne prstenove i ploče, imaju koristi od CVD SiC. Tokom RTP-a, intenzivni toplotni impulsi se primjenjuju na pojedinačne pločice na kratko vrijeme, nakon čega slijedi brzo hlađenje. CVD SiC ivični prstenovi, budući da su tanki i imaju nisku termičku masu, ne zadržavaju značajnu toplotu, što ih čini netaknutim brzim procesima grejanja i hlađenja.
Komponente za jetkanje plazmom
Visoka hemijska otpornost CVD SiC čini ga pogodnim za aplikacije jetkanja. Mnoge komore za jetkanje koriste CVD SiC ploče za distribuciju plina za distribuciju plinova za jetkanje, koje sadrže hiljade sićušnih rupa za disperziju plazme. U poređenju sa alternativnim materijalima, CVD SiC ima nižu reaktivnost sa gasovima hlora i fluora. U suhom jetkanju, CVD SiC komponente kao što su fokusni prstenovi, ICP ploče, granični prstenovi i tuš glave se obično koriste.
SiC fokusni prstenovi, sa svojim primijenjenim naponom za fokusiranje plazme, moraju imati dovoljnu provodljivost. Obično napravljeni od silikona, fokusni prstenovi su izloženi reaktivnim gasovima koji sadrže fluor i hlor, što dovodi do neizbežne korozije. SiC fokusni prstenovi, sa svojom superiornom otpornošću na koroziju, nude duži vijek trajanja u poređenju sa silikonskim prstenovima.
Poređenje životnog ciklusa:
· SiC fokusni prstenovi:Zamjena svakih 15 do 20 dana.
· Silikonski prstenovi za fokus:Zamjena svakih 10 do 12 dana.
Uprkos tome što su SiC prstenovi 2 do 3 puta skuplji od silikonskih prstenova, produženi ciklus zamjene smanjuje ukupne troškove zamjene komponenti, jer se svi dijelovi koji se troše u komori zamjenjuju istovremeno kada se komora otvori za zamjenu prstena fokusa.
SiC fokusni prstenovi kompanije Semicera Semiconductor
Semicera Semiconductor nudi SiC fokusne prstenove po cijenama sličnim cijenama silikonskih prstenova, sa rokom isporuke od približno 30 dana. Integracijom Semicerinih SiC fokusnih prstenova u opremu za plazma jetkanje, efikasnost i dugovječnost su značajno poboljšani, smanjujući ukupne troškove održavanja i povećavajući efikasnost proizvodnje. Osim toga, Semicera može prilagoditi otpornost fokusnih prstenova kako bi zadovoljila specifične zahtjeve kupaca.
Odabirom SiC fokusnih prstena iz Semicera Semiconductor, kupci mogu postići prednosti dužih ciklusa zamjene i superiornih performansi bez značajnog povećanja troškova.
Vrijeme objave: Jul-10-2024