Uvod u prevlaku od staklenog ugljika za poluprovodnike

I. Uvod u strukturu staklastog ugljika

karakteristike:

(1) Površina staklenog ugljika je glatka i ima staklastu strukturu;

(2) Stakleni ugljenik ima visoku tvrdoću i nisko stvaranje prašine;

(3) Stakleni ugljik ima veliku ID/IG vrijednost i vrlo nizak stepen grafitizacije, a njegov učinak toplinske izolacije je bolji;

(4) Stakleni ugljenik je ugljenik koji se teško grafitizuje sa dobrom otpornošću na visoke temperature i jakom stabilnošću na visokim temperaturama;

(5) Stakleni ugljenik ima malu reakcionu površinu i odličnu otpornost na hemijsku koroziju, a otporniji je na eroziju kiseonikom, silicijumom itd.

II. Uvod u prevlaku od staklenog ugljika

Površinske pore premaza od ljuspičastog grafita su raspoređene i struktura je labava, dok je struktura staklokarbonskog premaza zategnuta i ne otpada!

1. Antioksidacijski učinak staklenog ugljika

(1)Laminirani tvrdi filc
Premaz od staklenog ugljika učinkovito poboljšava antioksidacijske performanse tvrdog filca;

(2)Tvrdi filc od kratkih vlakana
Celokupni filc ima visoku poroznost i obezbeđuje kanale kiseonika; premaz od grafitnog ljuspica ima labavu strukturu, manje kanala kisika i poboljšane antioksidacijske performanse; premaz obložen staklastim ugljikom ima gustu strukturu, manje kanala kisika i najbolje antioksidacijske performanse.

2. Visokotemperaturna stabilnost staklenog ugljičnog premaza protiv ablacije
Porozna struktura običnog filca može ublažiti toplinu (konvekcijska toplotna disipacija); grafitni papir je sklon stvaranju plikova kada se ablatira; dubina ablacije staklougljičnog premaza je najplića, a otpornost na ablaciju najjača; premaz od staklenog ugljika ima dobre performanse toplinske izolacije.

3. Anti-Si erozijski učinak staklenog ugljičnog premaza
Tvrdi filc od kratkih vlakana je erodiran i u prahu od Si; premaz od ljuspavog grafita ima otpornost na eroziju Si u kratkom roku; premaz od staklenog ugljika ima najbolje performanse protiv erozije.

Glavni razlog za eroziju Si je taj što gasifikacija Si direktno erodira površinu tvrdog filca, što dovodi do praškanja; dok je karbonska struktura staklenog ugljičnog premaza stabilnija i ima bolje performanse protiv erozije.

Rezime

Sistem premaza od staklenog ugljika ne koristi se samo na termoizolacionim materijalima, već se očekuje i da se direktno koristi na površini grafitnih delova iC/C dijelovi, efektivno poboljšavajući performanse sveobuhvatne usluge materijala.