Kako proizvodimo korake obrade za SiC supstrate su sljedeći:
1. Orijentacija kristala: Upotreba difrakcije rendgenskih zraka za orijentaciju kristalnog ingota. Kada je snop rendgenskih zraka usmjeren na željeno lice kristala, ugao difraktiranog snopa određuje orijentaciju kristala.
2. Brušenje spoljašnjeg prečnika: pojedinačni kristali uzgajani u grafitnim loncima često premašuju standardne prečnike. Brušenje vanjskog promjera ih smanjuje na standardne veličine.
3. Krajnje brušenje: 4-inčne 4H-SiC podloge obično imaju dvije ivice za pozicioniranje, primarnu i sekundarnu. Završno brušenje otvara ove ivice za pozicioniranje.
4. Piljenje žice: Rezanje žice je ključni korak u obradi 4H-SiC supstrata. Pukotine i podzemna oštećenja nastala tokom rezanja žice negativno utiču na naknadne procese, produžavajući vreme obrade i uzrokujući gubitak materijala. Najčešća metoda je višežilno piljenje dijamantskim abrazivom. Za sečenje 4H-SiC ingota koristi se povratno kretanje metalnih žica vezanih dijamantskim abrazivima.
5. Zakošenje: Da bi se spriječilo lomljenje rubova i smanjili gubici potrošnog materijala tokom narednih procesa, oštre ivice strugotine izrezane žicom su zakošene u određene oblike.
6. Stanjivanje: Piljenje žice ostavlja mnogo ogrebotina i oštećenja ispod površine. Stanjivanje se vrši pomoću dijamantskih točkova kako bi se uklonili ovi nedostaci što je više moguće.
7. Brušenje: Ovaj proces uključuje grubo brušenje i fino brušenje korištenjem manjih bor karbida ili dijamantskih abraziva kako bi se uklonila zaostala oštećenja i nova oštećenja nastala tokom stanjivanja.
8. Poliranje: Završni koraci uključuju grubo poliranje i fino poliranje korištenjem abrazivnih sredstava od glinice ili silicijum oksida. Tečnost za poliranje omekšava površinu, koja se zatim mehanički uklanja abrazivima. Ovaj korak osigurava glatku i neoštećenu površinu.
9. Čišćenje: Uklanjanje čestica, metala, oksidnih filmova, organskih ostataka i drugih zagađivača preostalih iz koraka obrade.
Vrijeme objave: 15.05.2024