Uvođenje nosača vafla
KATEGORIJA PROIZVODA
▶Sistem nosača pločica za PECVD & TALOX proces
• PECVD & TALOX grafitni čamac (M4~M12)
• Vertikalni SM-čamac (M4, M6)
• Grafitni dio implantata i tuša (M4~M6)
• C/C ležište i keramički premaz
• Metalna RIE posuda i keramički premaz
• Vakuumsko zaptivanje: O-prsten i SQ-prsten
▶Proces prijenosa teksture i mokrog jetkanja
• LSC H-nosač ili kaseta (M4~M12)
• LSC V-nosač ili kaseta (M4~M12)
• ASC nosač ili kaseta (M4, M6)
• W/F nosač i kutija za pohranu (M4~M12)
• Serija transportnih točkova (valjak).
▶Nosač solarnih ćelija i metalni nosač
• TRC nosač ili kaseta (M4~M12)
• Časopis (sa KAISOM)
GRAFITNI ČAMAC (H-tip)
19P6-216CT (WF M4~M12)
GRAFITNI ČAMAC (H-tip)
21P6-240CT WF M4~M12)
GRAFITNI ČAMAC (H-tip)
23P7-308CT(W/F M4~M12)
GRAFITNI ČAMAC (H-tip)
22P/7-294TP (Š/Ž M4~M12)
GRAFITNI ČAMAC (H-tip)
W182-22P7-294CT (Š/Ž M12)
W182-21P6-240CT (Š/Ž M12)
WF NOSAČ I KUTIJA ZA SKLADIŠTENJE (~M12)
C/C PLODICA ili NOSAČ (M4~M10)
C/C PLODICA ili NOSAČ (M4~M10)
VERTIKALNI ČAMAC (SM) M6
LSC-H-NOSAČ (~M12)
LSC-V-NOSAČ (~M12)
ASC NOSAČ (~M6)
TRC NOSAČ (~M12)
TRC NOSAČ (~M12)
GRAFITNI ČAMAC (M12)
Sistem nosača pločica za PECVD proces
▶ GRAFITNI ČAMAC (CT-designed) M10/M12 Proces
• POSEBAN KONCEPT DIZAJNA
▶ GRAFITNI ČAMAC (CT-designed) M4/M6 proces
▶ Dijelovi pribora za BROD
▶ VERTIKALNI ČAMAC-161.7mm WAFER
▶ VERTIKALNI ČAMAC-166mm WAFER
▶ VERTIKALNI ČAMAC-161.7mm, 166mm WAFER
Nosač solarnih ćelija i metalni TRC nosač
TIP: Automatizacija
VELIČINA VAFLE : ① 156×156MM ② 156.75×156.75MM
③161.7x161.7MM ④166x166MM
⑤ 180×180 mm ⑥ 210×210 mm
UPOTREBA: nošenje (kaseta)
KAPACITET: 100 listova
KRATAK : 4,76 mm/5,953 mm/6,35 mm
DIMENZIJE: Približno 559×220×220MM
Približno 712×260×260MM
PREDNOST: Atmosfera
MATERIJAL: PLAMEN,BOČNA LIPKA-Aluminijum (eloksiranje)
SIDE PLATE-POM (Antistatic)
Poklopac donje šipke-EPDM/PU/VITON (ASE)
TRC-METALNI NOSAČ (KORISNIČKA LINIJA)
TRC-METALNI NOSAČ (KORISNIČKA LINIJA)
TRC-METALNI NOSAČ (KORISNIČKA LINIJA)
TUŠ PLOČA I IMPLANTAT, NOSAČ
