PECVD Carrier

Uvođenje nosača vafla

nosač vafla
nosač vafla
nosač vafla

KATEGORIJA PROIZVODA

Sistem nosača pločica za PECVD & TALOX proces
• PECVD & TALOX grafitni čamac (M4~M12)
• Vertikalni SM-čamac (M4, M6)
• Grafitni dio implantata i tuša (M4~M6)
• C/C ležište i keramički premaz
• Metalna RIE posuda i keramički premaz
• Vakuumsko zaptivanje: O-prsten i SQ-prsten
 
Proces prijenosa teksture i mokrog jetkanja
• LSC H-nosač ili kaseta (M4~M12)
• LSC V-nosač ili kaseta (M4~M12)
• ASC nosač ili kaseta (M4, M6)
• W/F nosač i kutija za pohranu (M4~M12)
• Serija transportnih točkova (valjak).
 
Nosač solarnih ćelija i metalni nosač
• TRC nosač ili kaseta (M4~M12)
• Časopis (sa KAISOM)
GRAFITNI ČAMAC (H-tip)19P6-216CT (WF M4~M12)

GRAFITNI ČAMAC (H-tip)

19P6-216CT (WF M4~M12)

GRAFITNI ČAMAC (H-tip)21P6-240CT WF M4~M12)

GRAFITNI ČAMAC (H-tip)

21P6-240CT WF M4~M12)

GRAFITNI ČAMAC (H-tip)23P7-308CT(Š/Ž M4~M12)

GRAFITNI ČAMAC (H-tip)

23P7-308CT(W/F M4~M12)

GRAFITNI ČAMAC (H-tip)22P/7-294TP (Š/Ž M4~M12)

GRAFITNI ČAMAC (H-tip)

22P/7-294TP (Š/Ž M4~M12)

GRAFITNI ČAMAC (H-1ype)

GRAFITNI ČAMAC (H-tip)

W182-22P7-294CT (Š/Ž M12)

W182-21P6-240CT (Š/Ž M12)

WF NOSAČ I KUTIJA ZA SKLADIŠTENJE (~M12) (1)

WF NOSAČ I KUTIJA ZA SKLADIŠTENJE (~M12)

第12页-106

C/C PLODICA ili NOSAČ (M4~M10)

VERTIKALNI ČAMAC (LP2)M6

C/C PLODICA ili NOSAČ (M4~M10)

VERTIKALNI ČAMAC (SM) M6

VERTIKALNI ČAMAC (SM) M6

LSC-H-NOSAČ (~M12)

LSC-H-NOSAČ (~M12)

LSC-V-NOSAČ (~M12)

LSC-V-NOSAČ (~M12)

LSC-V-NOSAČ (~M12)

ASC NOSAČ (~M6)

TRC NOSAČ (~M12)

TRC NOSAČ (~M12)

TRC NOSAČ (~M12)

TRC NOSAČ (~M12)

GRAFITNI ČAMAC (M12)

GRAFITNI ČAMAC (M12)

Sistem nosača pločica za PECVD proces

Wafer Carrier System
Wafer Carrier System
Wafer Carrier System
▶ GRAFITNI ČAMAC (CT-designed) M10/M12 Proces
• POSEBAN KONCEPT DIZAJNA
▶ GRAFITNI ČAMAC (CT-designed) M4/M6 proces
Dodatni dijelovi za BOAT

▶ Dijelovi pribora za BROD

第13页-130
Vodilica: Patent Design Product
微信截图_20241220165538
▶ VERTIKALNI ČAMAC-161.7mm WAFER
微信截图_20241220172323
▶ VERTIKALNI ČAMAC-166mm WAFER
微信截图_20241220172430
▶ VERTIKALNI ČAMAC-161.7mm, 166mm WAFER
微信截图_20241220172217

Nosač solarnih ćelija i metalni TRC nosač

TIP: Automatizacija
 
VELIČINA VAFLE : ① 156×156MM ② 156.75×156.75MM
③161.7x161.7MM ④166x166MM
⑤ 180×180 mm ⑥ 210×210 mm
 
UPOTREBA: nošenje (kaseta)
 
KAPACITET: 100 listova
 
KRATAK : 4,76 mm/5,953 mm/6,35 mm
 
DIMENZIJE: Približno 559×220×220MM
Približno 712×260×260MM
 
PREDNOST: Atmosfera
 
MATERIJAL: PLAMEN,BOČNA LIPKA-Aluminijum (eloksiranje)
SIDE PLATE-POM (Antistatic)
Poklopac donje šipke-EPDM/PU/VITON (ASE)
第15页-145

TRC-METALNI NOSAČ (KORISNIČKA LINIJA)

第15页-147

TRC-METALNI NOSAČ (KORISNIČKA LINIJA)

第15页-146

TRC-METALNI NOSAČ (KORISNIČKA LINIJA)

第15页-157
第15页-156
第15页-155

TUŠ PLOČA I IMPLANTAT, NOSAČ

微信截图_20241220174434