PFA kaseta

Kratak opis:

PFA kaseta– Iskusite neusporedivu hemijsku otpornost i izdržljivost uz Semicera PFA kasetu, idealno rešenje za sigurno i efikasno rukovanje pločicama u proizvodnji poluprovodnika.


Detalji o proizvodu

Oznake proizvoda

Semicerasa zadovoljstvom nudiPFA kaseta, vrhunski izbor za rukovanje pločicama u okruženjima u kojima su hemijska otpornost i izdržljivost najvažniji. Izrađena od perfluoroalkoksi (PFA) materijala visoke čistoće, ova kaseta je dizajnirana da izdrži najzahtjevnije uslove u proizvodnji poluprovodnika, osiguravajući sigurnost i integritet vaših pločica.

Hemijska otpornost bez premcaThePFA kasetaje dizajniran da pruži vrhunsku otpornost na širok spektar hemikalija, što ga čini savršenim izborom za procese koji uključuju agresivne kiseline, rastvarače i druge jake hemikalije. Ova robusna hemijska otpornost osigurava da kaseta ostane netaknuta i funkcionalna čak iu najkorozivnijim sredinama, čime se produžava njen vijek trajanja i smanjuje potreba za čestim zamjenama.

Konstrukcija visoke čistoćeSemicera'sPFA kasetaje proizveden od ultra čistog PFA materijala, koji je kritičan u sprečavanju kontaminacije tokom obrade vafla. Ova konstrukcija visoke čistoće minimizira rizik od stvaranja čestica i hemijskog ispiranja, osiguravajući da su vaše vafle zaštićene od nečistoća koje bi mogle ugroziti njihov kvalitet.

Povećana izdržljivost i performanseDizajniran za izdržljivost,PFA kasetaodržava svoj strukturni integritet pod ekstremnim temperaturama i rigoroznim uslovima obrade. Bilo da je izložena visokim temperaturama ili podvrgnuta stalnom rukovanju, ova kaseta zadržava svoj oblik i performanse, nudeći dugoročnu pouzdanost u zahtjevnim proizvodnim okruženjima.

Precizno inženjerstvo za sigurno rukovanjeTheSemicera PFA kasetaima precizan inženjering koji osigurava sigurno i stabilno rukovanje pločicama. Svaki utor je pažljivo dizajniran da drži pločice sigurno na mjestu, sprječavajući bilo kakvo pomicanje ili pomicanje koje bi moglo dovesti do oštećenja. Ovaj precizan inženjering podržava dosljedno i precizno postavljanje pločice, doprinoseći ukupnoj efikasnosti procesa.

Raznovrsna primena u svim procesimaZahvaljujući vrhunskim svojstvima materijala,PFA kasetadovoljno je svestran da se koristi u različitim fazama proizvodnje poluprovodnika. Posebno je pogodan za mokro jetkanje, hemijsko taloženje pare (CVD) i druge procese koji uključuju oštra hemijska okruženja. Njegova prilagodljivost čini ga osnovnim alatom za održavanje integriteta procesa i kvaliteta pločice.

Posvećenost kvalitetu i inovacijamaU Semiceri smo posvećeni pružanju proizvoda koji zadovoljavaju najviše industrijske standarde. ThePFA kasetapredstavlja primjer ove posvećenosti, nudeći pouzdano rješenje koje se neprimjetno integrira u vaše proizvodne procese. Svaka kaseta prolazi strogu kontrolu kvaliteta kako bi se osiguralo da ispunjava naše rigorozne kriterije performansi, pružajući izvrsnost koju očekujete od Semicere.

Predmeti

Proizvodnja

Istraživanja

Dummy

Crystal Parameters

Polytype

4H

Greška u orijentaciji površine

<11-20 >4±0,15°

Električni parametri

Dopant

n-tip dušika

Otpornost

0,015-0,025 ohm·cm

Mehanički parametri

Prečnik

150,0±0,2 mm

Debljina

350±25 μm

Primarna ravna orijentacija

[1-100]±5°

Primarna ravna dužina

47,5±1,5 mm

Sekundarni stan

Nema

TTV

≤5 μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤3 μm (5mm*5mm)

≤5 μm (5mm*5mm)

≤10 μm (5mm*5mm)

Naklon

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Warp

≤35 μm

≤45 μm

≤55 μm

Prednja (Si-face) hrapavost (AFM)

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Struktura

Gustoća mikropipe

<1 ea/cm2

<10 ea/cm2

<15 ea/cm2

Metalne nečistoće

≤5E10atoma/cm2

NA

BPD

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

NA

TSD

≤500 ea/cm2

≤1000 ea/cm2

NA

Front Quality

Front

Si

Završna obrada

Si-face CMP

Čestice

≤60ea/wafer (veličina≥0,3μm)

NA

Ogrebotine

≤5ea/mm. Kumulativna dužina ≤Prečnik

Kumulativna dužina≤2*Prečnik

NA

Narandžina kora/kostice/mrlje/pruge/pukotine/kontaminacija

Nema

NA

Ivične strugotine/udubljenja/frakture/heksadecimalne ploče

Nema

Politipske oblasti

Nema

Kumulativna površina≤20%

Kumulativna površina≤30%

Prednje lasersko obeležavanje

Nema

Back Quality

Zadnji završetak

C-face CMP

Ogrebotine

≤5ea/mm, kumulativna dužina≤2*Prečnik

NA

Defekti na leđima (ivičnjaci/udubljenja)

Nema

Hrapavost leđa

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Lasersko označavanje leđa

1 mm (od gornje ivice)

Edge

Edge

Chamfer

Pakovanje

Pakovanje

Epi-ready sa vakum pakovanjem

Multi-wafer kaseta pakovanje

*Napomene: "NA" znači da nema zahtjeva. Stavke koje nisu spomenute mogu se odnositi na SEMI-STD.

tech_1_2_size
SiC wafers

  • Prethodno:
  • sljedeće: