Opis
Semicera SiC wafer susceptori za MOCVD (metalno-organsko hemijsko taloženje parom) su projektovani da zadovolje stroge zahteve procesa epitaksijalnog taloženja. Koristeći visokokvalitetni silicijum karbid (SiC), ovi prijemnici nude neuporedivu izdržljivost i performanse u visokotemperaturnim i korozivnim okruženjima, obezbeđujući precizan i efikasan rast poluprovodničkih materijala.
Ključne karakteristike:
1. Superiorna svojstva materijalaNapravljeni od visokokvalitetnog SiC-a, naši nosači za pločice pokazuju izuzetnu toplotnu provodljivost i hemijsku otpornost. Ova svojstva im omogućavaju da izdrže ekstremne uslove MOCVD procesa, uključujući visoke temperature i korozivne gasove, obezbeđujući dugovečnost i pouzdane performanse.
2. Preciznost u epitaksijalnom taloženjuPrecizan inženjering naših SiC Wafer Susceptora osigurava ujednačenu distribuciju temperature po površini pločice, olakšavajući konzistentan i visokokvalitetan rast epitaksijalnog sloja. Ova preciznost je kritična za proizvodnju poluprovodnika sa optimalnim električnim svojstvima.
3. Povećana izdržljivostRobusni SiC materijal pruža odličnu otpornost na habanje i degradaciju, čak i pod kontinuiranim izlaganjem teškim procesnim okruženjima. Ova izdržljivost smanjuje učestalost zamjene susceptora, minimizirajući vrijeme zastoja i operativne troškove.
aplikacije:
Semicera SiC Vafer susceptori za MOCVD su idealno prikladni za:
• Epitaksijalni rast poluprovodničkih materijala
• Visokotemperaturni MOCVD procesi
• Proizvodnja GaN, AlN i drugih složenih poluprovodnika
• Napredne aplikacije za proizvodnju poluprovodnika
Glavne specifikacije CVD-SIC premaza:
Prednosti:
•Visoka preciznost: Osigurava ravnomjeran i kvalitetan epitaksijalni rast.
•Dugotrajne performanse: Izuzetna izdržljivost smanjuje učestalost zamjene.
• Isplativost: Minimizira operativne troškove kroz smanjenje vremena zastoja i održavanja.
•Svestranost: Prilagodljivo da odgovara različitim zahtjevima MOCVD procesa.
