Pregled proizvoda
TheSilicijum impregniran silicijum karbid (SiC) lopatica i nosač pločiceje dizajniran da zadovolji zahtjevne zahtjeve primjene termičke obrade poluvodiča. Izrađen od SiC visoke čistoće i poboljšan silicijumskom impregnacijom, ovaj proizvod nudi jedinstvenu kombinaciju performansi pri visokim temperaturama, odlične toplotne provodljivosti, otpornosti na koroziju i izuzetne mehaničke čvrstoće.
Integracijom napredne nauke o materijalima s preciznom proizvodnjom, ovo rješenje osigurava vrhunske performanse, pouzdanost i izdržljivost za proizvođače poluvodiča.
Ključne karakteristike
1.Izuzetna otpornost na visoke temperature
Sa tačkom topljenja većom od 2700°C, SiC materijali su inherentno stabilni pod ekstremnom toplotom. Silikonska impregnacija dodatno poboljšava njihovu termičku stabilnost, omogućavajući im da izdrže produženo izlaganje visokim temperaturama bez slabljenja strukture ili degradacije performansi.
2.Superiorna toplotna provodljivost
Izuzetna toplotna provodljivost SiC impregniranog silicijumom obezbeđuje ujednačenu distribuciju toplote, smanjujući termički stres tokom kritičnih faza obrade. Ovo svojstvo produžava životni vijek opreme i smanjuje vrijeme zastoja u proizvodnji, što ga čini idealnim za termičku obradu na visokim temperaturama.
3.Otpornost na oksidaciju i koroziju
Robusni sloj silicijum oksida se prirodno formira na površini, pružajući izuzetnu otpornost na oksidaciju i koroziju. Ovo osigurava dugoročnu pouzdanost u teškim radnim okruženjima, štiteći i materijal i okolne komponente.
4.Visoka mehanička čvrstoća i otpornost na habanje
Silicijum impregnirani SiC ima odličnu čvrstoću na pritisak i otpornost na habanje, održavajući svoj strukturni integritet pod visokim opterećenjem i visokim temperaturama. Ovo smanjuje rizik od oštećenja uzrokovanih habanjem, osiguravajući dosljedne performanse tokom produženih ciklusa upotrebe.
Specifikacije
| Naziv proizvoda | SC-RSiC-Si |
| Materijal | Silicijum impregnacija Silicon Carbide Compact (visoke čistoće) |
| Prijave | Poluvodički dijelovi za toplinsku obradu, dijelovi opreme za proizvodnju poluvodiča |
| Obrazac za dostavu | Oblikovano tijelo (sinterovano tijelo) |
| Kompozicija | Mehanička svojstva | Youngov modul (GPa) | Snaga pri savijanju (MPa) | ||
| Sastav (vol%) | α-SiC | α-SiC | RT | 370 | 250 |
| 82 | 18 | 800°C | 360 | 220 | |
| Nasipna gustina (kg/m³) | 3,02 x 103 | 1200°C | 340 | 220 | |
| Temperatura otporna na toplinu°C | 1350 | Poissonov omjer | 0,18 (RT) | ||
| Thermal Property | Toplotna provodljivost (W/(m· K)) | Specifični toplotni kapacitet (kJ/(kg·K)) | Koeficijent toplinske ekspanzije (1/K) | ||
| RT | 220 | 0.7 | RT~700°C | 3,4 x 10-6 | |
| 700°C | 60 | 1.23 | 700~1200°C | 4,3 x10-6 | |
| Sadržaj nečistoća ((ppm) | |||||||||||||
| Element | Fe | Ni | Na | K | Mg | Ca | Cr | Mn | Zn | Cu | Ti | Va | Ai |
| Content Rate | 3 | <2 | <0.5 | <0.1 | <1 | 5 | 0.3 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.3 | <0.3 | 25 |
Prijave
▪Termička obrada poluprovodnika:Idealno za procese kao što su hemijsko taloženje pare (CVD), epitaksijalni rast i žarenje, gde su precizna kontrola temperature i izdržljivost materijala kritični.
▪Nosači i vesla za vafle:Dizajniran za sigurno držanje i transport vafla tokom termičkih tretmana na visokim temperaturama.
▪Ekstremna radna okruženja: Pogodno za postavke koje zahtijevaju otpornost na toplinu, izlaganje kemikalijama i mehanički stres.
Prednosti silicijum impregniranog SiC-a
Kombinacija silicijum karbida visoke čistoće i napredne tehnologije impregnacije silicijumom donosi neuporedive prednosti performansi:
▪Preciznost:Poboljšava tačnost i kontrolu obrade poluprovodnika.
▪Stabilnost:Izdržava teška okruženja bez ugrožavanja funkcionalnosti.
▪dugovječnost:Produžuje vijek trajanja opreme za proizvodnju poluvodiča.
▪Efikasnost:Poboljšava produktivnost osiguravajući pouzdane i dosljedne rezultate.
Zašto odabrati naša SiC rješenja impregnirana silikonom?
At Semicera, specijalizovani smo za pružanje rešenja visokih performansi prilagođenih potrebama proizvođača poluprovodnika. Naša silicijum impregnirana lopatica i nosač pločice od silicijum-karbida prolaze rigorozno testiranje i proveru kvaliteta kako bi zadovoljili industrijske standarde. Odabirom Semicere, dobijate pristup vrhunskim materijalima dizajniranim da optimiziraju vaše proizvodne procese i poboljšaju vaše proizvodne mogućnosti.
Tehničke specifikacije
▪Sastav materijala:Silicijum karbid visoke čistoće sa silicijumskom impregnacijom.
▪Raspon radne temperature:Do 2700°C.
▪ Toplotna provodljivost:Izuzetno visoka za ravnomjernu distribuciju topline.
▪Svojstva otpornosti:Otporan na oksidaciju, koroziju i habanje.
▪Prijave:Kompatibilan sa raznim poluprovodničkim sistemima za termičku obradu.
Kontaktirajte nas
Spremni da poboljšate svoj proces proizvodnje poluvodiča? KontaktSemiceradanas da saznate više o našim silicijum impregniranim silicijum karbidnim lopaticama i nosačima za pločice.
▪Email: sales01@semi-cera.com/sales05@semi-cera.com
▪Telefon: +86-0574-8650 3783
▪Lokacija:No.1958 Jiangnan Road, Ningbo High tech, Zona, Zhejiang Province, 315201, Kina
