Silicijum na izolatorskim pločicamaiz Semicera su dizajnirani da zadovolje rastuću potražnju za poluprovodničkim rješenjima visokih performansi. Naše SOI pločice nude superiorne električne performanse i smanjenu parazitnu kapacitivnost uređaja, što ih čini idealnim za napredne aplikacije kao što su MEMS uređaji, senzori i integrirana kola. Semicerina stručnost u proizvodnji vafla osigurava da svakiSOI waferpruža pouzdane, visokokvalitetne rezultate za vaše tehnološke potrebe sljedeće generacije.
NašSilicijum na izolatorskim pločicamanude optimalnu ravnotežu između isplativosti i performansi. Kako cijena soi pločica postaje sve konkurentnija, ove oblatne se široko koriste u nizu industrija, uključujući mikroelektroniku i optoelektroniku. Visokoprecizni proizvodni proces Semicera jamči vrhunsko spajanje i uniformnost pločica, što ih čini pogodnim za različite primjene, od šupljih SOI pločica do standardnih silikonskih pločica.
Ključne karakteristike:
•Visokokvalitetne SOI pločice optimizirane za performanse u MEMS i drugim aplikacijama.
•Konkurentna cijena soi vafla za poduzeća koja traže napredna rješenja bez ugrožavanja kvalitete.
•Idealan za najsavremenije tehnologije, nudeći poboljšanu električnu izolaciju i efikasnost u sistemima silicijuma na izolatorima.
NašSilicijum na izolatorskim pločicamasu projektovani da obezbede rešenja visokih performansi, podržavajući sledeći talas inovacija u tehnologiji poluprovodnika. Bilo da radite na karijesuSOI wafers, MEMS uređaji ili silicijum na komponentama izolatora, Semicera isporučuje pločice koje ispunjavaju najviše standarde u industriji.
| Predmeti | Proizvodnja | Istraživanja | Dummy |
| Crystal Parameters | |||
| Polytype | 4H | ||
| Greška u orijentaciji površine | <11-20 >4±0,15° | ||
| Električni parametri | |||
| Dopant | n-tip dušika | ||
| Otpornost | 0,015-0,025 ohm·cm | ||
| Mehanički parametri | |||
| Prečnik | 150,0±0,2 mm | ||
| Debljina | 350±25 μm | ||
| Primarna ravna orijentacija | [1-100]±5° | ||
| Primarna ravna dužina | 47,5±1,5 mm | ||
| Sekundarni stan | Nema | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Naklon | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Prednja (Si-face) hrapavost (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Struktura | |||
| Gustoća mikropipe | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Metalne nečistoće | ≤5E10atoma/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Front Quality | |||
| Front | Si | ||
| Završna obrada | Si-face CMP | ||
| Čestice | ≤60ea/wafer (veličina≥0.3μm) | NA | |
| Ogrebotine | ≤5ea/mm. Kumulativna dužina ≤Prečnik | Kumulativna dužina≤2*Prečnik | NA |
| Narandžina kora/kostice/mrlje/pruge/pukotine/kontaminacija | Nema | NA | |
| Ivične strugotine/udubljenja/frakture/heksadecimalne ploče | Nema | ||
| Politipske oblasti | Nema | Kumulativna površina≤20% | Kumulativna površina≤30% |
| Prednje lasersko označavanje | Nema | ||
| Back Quality | |||
| Zadnji završetak | C-face CMP | ||
| Ogrebotine | ≤5ea/mm, kumulativna dužina≤2*Prečnik | NA | |
| Defekti na leđima (ivičnjaci/udubljenja) | Nema | ||
| Hrapavost leđa | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Lasersko označavanje leđa | 1 mm (od gornje ivice) | ||
| Edge | |||
| Edge | Chamfer | ||
| Pakovanje | |||
| Pakovanje | Epi-ready sa vakum pakovanjem Multi-wafer kaseta pakovanje | ||
| *Napomene: "NA" znači da nema zahtjeva. Stavke koje nisu spomenute mogu se odnositi na SEMI-STD. | |||
