Semicera SOI Wafer (silicijum na izolatoru) je dizajniran da pruži vrhunsku električnu izolaciju i termičke performanse. Ova inovativna struktura pločice, koja sadrži sloj silikona na izolacijskom sloju, osigurava poboljšane performanse uređaja i smanjenu potrošnju energije, što ga čini idealnim za razne aplikacije visoke tehnologije.
Naše SOI pločice nude izuzetne prednosti za integrisana kola minimizirajući parazitski kapacitet i poboljšavajući brzinu i efikasnost uređaja. Ovo je ključno za modernu elektroniku, gdje su visoke performanse i energetska efikasnost od suštinskog značaja za potrošačke i industrijske primjene.
Semicera koristi napredne proizvodne tehnike za proizvodnju SOI pločica sa dosljednim kvalitetom i pouzdanošću. Ove pločice obezbeđuju odličnu toplotnu izolaciju, što ih čini pogodnim za upotrebu u okruženjima gde je rasipanje toplote važno, kao što su elektronski uređaji visoke gustine i sistemi za upravljanje napajanjem.
Upotreba SOI pločica u proizvodnji poluprovodnika omogućava razvoj manjih, bržih i pouzdanijih čipova. Semicerina posvećenost preciznom inženjeringu osigurava da naše SOI pločice ispunjavaju visoke standarde potrebne za vrhunske tehnologije u oblastima kao što su telekomunikacije, automobilska i potrošačka elektronika.
Odabir Semicerinog SOI Wafer-a znači ulaganje u proizvod koji podržava napredak elektronskih i mikroelektronskih tehnologija. Naše pločice su dizajnirane da pruže poboljšane performanse i izdržljivost, doprinoseći uspjehu vaših projekata visoke tehnologije i osiguravajući da ostanete na čelu inovacija.
| Predmeti | Proizvodnja | Istraživanja | Dummy |
| Crystal Parameters | |||
| Polytype | 4H | ||
| Greška u orijentaciji površine | <11-20 >4±0,15° | ||
| Električni parametri | |||
| Dopant | n-tip dušika | ||
| Otpornost | 0,015-0,025 ohm·cm | ||
| Mehanički parametri | |||
| Prečnik | 150,0±0,2 mm | ||
| Debljina | 350±25 μm | ||
| Primarna ravna orijentacija | [1-100]±5° | ||
| Primarna ravna dužina | 47,5±1,5 mm | ||
| Sekundarni stan | Nema | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Naklon | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Prednja (Si-face) hrapavost (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Struktura | |||
| Gustoća mikropipe | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Metalne nečistoće | ≤5E10atoma/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Front Quality | |||
| Front | Si | ||
| Završna obrada | Si-face CMP | ||
| Čestice | ≤60ea/wafer (veličina≥0,3μm) | NA | |
| Ogrebotine | ≤5ea/mm. Kumulativna dužina ≤Prečnik | Kumulativna dužina≤2*Prečnik | NA |
| Narandžina kora/kostice/mrlje/pruge/pukotine/kontaminacija | Nema | NA | |
| Ivične strugotine/udubljenja/frakture/heksadecimalne ploče | Nema | ||
| Politipske oblasti | Nema | Kumulativna površina≤20% | Kumulativna površina≤30% |
| Prednje lasersko obeležavanje | Nema | ||
| Back Quality | |||
| Zadnji završetak | C-face CMP | ||
| Ogrebotine | ≤5ea/mm, kumulativna dužina≤2*Prečnik | NA | |
| Defekti na leđima (ivičnjaci/udubljenja) | Nema | ||
| Hrapavost leđa | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Lasersko označavanje leđa | 1 mm (od gornje ivice) | ||
| Edge | |||
| Edge | Chamfer | ||
| Pakovanje | |||
| Pakovanje | Epi-ready sa vakum pakovanjem Multi-wafer kaseta pakovanje | ||
| *Napomene: "NA" znači da nema zahtjeva. Stavke koje nisu spomenute mogu se odnositi na SEMI-STD. | |||
