TaC obloženi epitaksijalni nosači pločicese obično koriste u pripremi optoelektronskih uređaja visokih performansi, energetskih uređaja, senzora i drugih oblasti. Ovoepitaksijalni nosač pločiceodnosi se na taloženjeTaCtanki film na podlozi tokom procesa rasta kristala kako bi se formirala pločica sa specifičnom strukturom i performansama za kasniju pripremu uređaja.
Za pripremu se obično koristi tehnologija hemijskog taloženja parom (CVD).TaC obloženi epitaksijalni nosači pločice. Reakcijom metalnih organskih prekursora i plinova izvora ugljika na visokoj temperaturi, TaC film se može nanijeti na površinu kristalnog supstrata. Ovaj film može imati izvrsna električna, optička i mehanička svojstva i pogodan je za pripremu raznih uređaja visokih performansi.
Semicera obezbeđuje specijalizovane premaze od tantal karbida (TaC) za različite komponente i nosače.Semicera vodeći proces premazivanja omogućava premazima od tantal karbida (TaC) da postignu visoku čistoću, visoku temperaturnu stabilnost i visoku hemijsku toleranciju, poboljšavajući kvalitet proizvoda SIC/GAN kristala i EPI slojeva (TaC susceptor obložen grafitom) i produži život ključnih komponenti reaktora. Upotreba TaC premaza od tantal karbida je rješavanje problema ivica i poboljšanje kvalitete rasta kristala, a Semicera je proboj riješila tehnologiju premaza tantal karbida (CVD), dostigavši međunarodni napredni nivo.
Nakon godina razvoja, Semicera je osvojila tehnologijuCVD TaCzajedničkim naporima odjela za istraživanje i razvoj. Lako se javljaju defekti u procesu rasta SiC pločica, ali nakon upotrebeTaC, razlika je značajna. Ispod je poređenje vafla sa i bez TaC, kao i Simicerinih dijelova za rast monokristala.
sa i bez TaC
Nakon upotrebe TaC-a (desno)
Štaviše, SemiceraProizvodi obloženi TaC-ompokazuju duži vijek trajanja i veću otpornost na visoke temperature u odnosu naSiC premazi.Laboratorijska mjerenja su pokazala da našaTaC premazimože postojati na temperaturama do 2300 stepeni Celzijusa tokom dužeg perioda. U nastavku su neki primjeri naših uzoraka:
