TaC obloženi grafitni vodeći prstenoviodnose se na taloženje tankog slojatantal karbidana površini grafitnog vodiča za poboljšanje njegove otpornosti na habanje, otpornost na visoke temperature i kemijsku stabilnost. Ovaj premaz se obično formira na površini grafitnog vodećeg prstena tehnikama kao što su fizičko taloženje parom (PVD) ili hemijsko taloženje parom (CVD).
Semicera obezbeđuje specijalizovane premaze od tantal karbida (TaC) za različite komponente i nosače.Semicera vodeći proces premazivanja omogućava premazima od tantal karbida (TaC) da postignu visoku čistoću, visoku temperaturnu stabilnost i visoku hemijsku toleranciju, poboljšavajući kvalitet proizvoda SIC/GAN kristala i EPI slojeva (TaC susceptor obložen grafitom) i produži život ključnih komponenti reaktora. Upotreba TaC premaza od tantal karbida je rješavanje problema ivica i poboljšanje kvalitete rasta kristala, a Semicera je proboj riješila tehnologiju premaza tantal karbida (CVD), dostigavši međunarodni napredni nivo.
Nakon godina razvoja, Semicera je osvojila tehnologijuCVD TaCzajedničkim naporima odjela za istraživanje i razvoj. Lako se javljaju defekti u procesu rasta SiC pločica, ali nakon upotrebeTaC, razlika je značajna. Ispod je poređenje vafla sa i bez TaC, kao i Simicerinih dijelova za rast monokristala.
Glavne karakteristike TaC obloženih grafitnih vodećih prstenova uključuju:
1. Otpornost na visoke temperature: TaC premaz ima odličnu stabilnost na visokim temperaturama i može održati stabilnost u okruženjima s visokim temperaturama.
2. Otpornost na habanje: Visoka tvrdoća tankog sloja tantal karbida daje vodećem prstenu dobru otpornost na habanje i produžava njegov vijek trajanja.
3. Hemijska stabilnost: TaC premaz ima visoku stabilnost protiv hemijske korozije, što ga čini pogodnim za primjenu u nekim korozivnim medijima.
4. Smanjite trenje: TaC premaz može efikasno smanjiti trenje između grafitnog prstena za vođenje i drugih komponenti i poboljšati efikasnost mehaničkih zaptivača.
sa i bez TaC
Nakon upotrebe TaC-a (desno)
Štaviše, SemiceraProizvodi obloženi TaC-ompokazuju duži vijek trajanja i veću otpornost na visoke temperature u odnosu naSiC premazi.Laboratorijska mjerenja su pokazala da našaTaC premazimože konzistentno raditi na temperaturama do 2300 stepeni Celzijusa tokom dužeg perioda. U nastavku su neki primjeri naših uzoraka:
