TaC premazje važan materijalni premaz, koji se obično priprema na grafitnoj bazi tehnologijom metalnog organskog hemijskog taloženja parom (MOCVD). Ovaj premaz ima izvrsna svojstva, kao što su visoka tvrdoća, odlična otpornost na habanje, otpornost na visoke temperature i kemijsku stabilnost, te je pogodan za različite zahtjevne inženjerske primjene.
MOCVD tehnologija je najčešće korištena tehnologija rasta tankog filma koja nanosi željeni složeni film na površinu supstrata reakcijom metalnih organskih prekursora s reaktivnim plinovima na visokim temperaturama. Prilikom pripremeTaC premaz, odabirom odgovarajućih metalnih organskih prekursora i izvora ugljika, kontrolisanjem reakcionih uslova i parametara taloženja, jednoličan i gust TaC film se može nanijeti na grafitnu podlogu.
Semicera obezbeđuje specijalizovane premaze od tantal karbida (TaC) za različite komponente i nosače.Semicera vodeći proces premazivanja omogućava premazima od tantal karbida (TaC) da postignu visoku čistoću, visoku temperaturnu stabilnost i visoku hemijsku toleranciju, poboljšavajući kvalitet proizvoda SIC/GAN kristala i EPI slojeva (TaC susceptor obložen grafitom) i produži život ključnih komponenti reaktora. Upotreba TaC premaza od tantal karbida je rješavanje problema ivica i poboljšanje kvalitete rasta kristala, a Semicera je proboj riješila tehnologiju premaza tantal karbida (CVD), dostigavši međunarodni napredni nivo.
Nakon godina razvoja, Semicera je osvojila tehnologijuCVD TaCzajedničkim naporima odjela za istraživanje i razvoj. Lako se javljaju defekti u procesu rasta SiC pločica, ali nakon upotrebeTaC, razlika je značajna. Ispod je poređenje vafla sa i bez TaC, kao i Simicerinih dijelova za rast monokristala.
sa i bez TaC
Nakon upotrebe TaC-a (desno)
Štaviše, SemiceraProizvodi obloženi TaC-ompokazuju duži vijek trajanja i veću otpornost na visoke temperature u odnosu naSiC premazi.Laboratorijska mjerenja su pokazala da našaTaC premazimože konzistentno raditi na temperaturama do 2300 stepeni Celzijusa tokom dužeg perioda. U nastavku su neki primjeri naših uzoraka:
