Susceptor obložen tantal karbidom (TaC) za opremu za epitaksiju

Kratki opis:

Grafit je odličan materijal za visoke temperature, ali lako oksidira na visokim temperaturama.Čak iu vakuumskim pećima s inertnim plinom, još uvijek može proći sporu oksidaciju.Upotreba CVD tantal karbida (TaC) premaza može efikasno zaštititi grafitnu podlogu, pružajući istu otpornost na visoke temperature kao grafit.TaC je takođe inertan materijal, što znači da neće reagovati sa gasovima kao što su argon ili vodonik na visokim temperaturama.Upit Susceptor obložen tantal karbidom (TaC) za opremu za epitaksiju sad!

Pošaljite nam email

Detalji o proizvodu

Oznake proizvoda

Semicera obezbeđuje specijalizovane premaze od tantal karbida (TaC) za različite komponente i nosače.Semicera vodeći proces premazivanja omogućava premazima od tantal karbida (TaC) da postignu visoku čistoću, visoku temperaturnu stabilnost i visoku hemijsku toleranciju, poboljšavajući kvalitet proizvoda SIC/GAN kristala i EPI slojeva (TaC susceptor obložen grafitom) i produži život ključnih komponenti reaktora.Upotreba TaC premaza od tantal karbida je za rješavanje problema ivica i poboljšanje kvalitete rasta kristala, a Semicera je proboj riješila tehnologiju premaza tantal karbida (CVD), dostigavši međunarodni napredni nivo.

Nakon godina razvoja, Semicera je osvojila tehnologijuCVD TaCzajedničkim naporima odjela za istraživanje i razvoj.Lako se javljaju defekti u procesu rasta SiC pločica, ali nakon upotrebeTaC, razlika je značajna.Ispod je poređenje vafla sa i bez TaC, kao i Simicerinih dijelova za rast monokristala.

Visokoefikasni premaz od tantal karbida_ poboljšava efikasnost industrijske proizvodnje i smanjuje troškove održavanja Istaknuta slika

Tac dio za rast monokristala

Prevlaka od tantal karbida protiv habanja_ Štiti opremu od habanja i korozije Istaknuta slika

Grafit sa TaC obloženim prstenom

sa i bez TaC

Nakon upotrebe TaC (desno)

Štaviše, SemiceraProizvodi obloženi TaC-ompokazuju duži vijek trajanja i veću otpornost na visoke temperature u odnosu naSiC premazi.Laboratorijska mjerenja su pokazala da našaTaC premazimože konzistentno raditi na temperaturama do 2300 stepeni Celzijusa tokom dužeg perioda.U nastavku su neki primjeri naših uzoraka: