TaC Coated Plate je specijalizirani disk dizajniran za upotrebu u SiC epitaksijalnim procesima, izrađen s preciznošću od visokokvalitetnog grafitnog materijala. Njegova površina je pažljivo obložena tantal karbidom (TaC), spojem poznatom po svojoj izuzetnoj čistoći i čvrstoći. TaC premaz povećava izdržljivost ploče i otpornost na visoke temperature, što je čini idealnom za zahtjevne uslove SiC epitaksijalnih procesa.
Ova inovativna TaC Coated Plate je specijalizirani disk dizajniran za upotrebu u SiC epitaksijalnim procesima, izrađen s preciznošću od visokokvalitetnog grafitnog materijala. Površina ploče obložene TaC-om je pažljivo obložena tantal karbidom (TaC), spojem poznatom po svojoj izuzetnoj čistoći i čvrstoći. služi kao pouzdana platforma za nošenje pločica tokom različitih faza epitaksijalnog rasta SiC. Njegova grafitna baza visoke čistoće pruža stabilnu i inertnu površinu, dok TaC premaz dodaje dodatni sloj zaštite od hemijskih reakcija i habanja.
SemićeraTaC Coated Plate je prilagođena prema specifičnim zahtjevima kupaca, osiguravajući optimalne performanse i kompatibilnost sa njihovim SiC epitaksijalnim sistemima. Bilo da se radi o veličini, obliku ili drugim specifikacijama, ove ploče su skrojene da zadovolje jedinstvene potrebe svake primjene.
sa i bez TaC
Nakon upotrebe TaC-a (desno)
Štaviše, SemiceraProizvodi obloženi TaC-ompokazuju duži vijek trajanja i veću otpornost na visoke temperature u odnosu naSiC premazi.Laboratorijska mjerenja su pokazala da našaTaC premazimože konzistentno raditi na temperaturama do 2300 stepeni Celzijusa tokom dužeg perioda. U nastavku su neki primjeri naših uzoraka:
