Semicera obezbeđuje specijalizovane premaze od tantal karbida (TaC) za različite komponente i nosače.Semicera vodeći proces premazivanja omogućava premazima od tantal karbida (TaC) da postignu visoku čistoću, visoku temperaturnu stabilnost i visoku hemijsku toleranciju, poboljšavajući kvalitet proizvoda SIC/GAN kristala i EPI slojeva (TaC susceptor obložen grafitom) i produži život ključnih komponenti reaktora. Upotreba TaC premaza od tantal karbida je za rješavanje problema ivica i poboljšanje kvalitete rasta kristala, a Semicera je proboj riješila tehnologiju premaza tantal karbida (CVD), dostigavši međunarodni napredni nivo.
Nosači vafla obloženi tantal karbidom se široko koriste u procesima obrade i rukovanja pločicama u procesima proizvodnje poluvodiča. Oni pružaju stabilnu podršku i zaštitu kako bi se osigurala sigurnost, tačnost i konzistentnost pločica tokom procesa proizvodnje. Premazi od tantal karbida mogu produžiti vijek trajanja nosača, smanjiti troškove i poboljšati kvalitetu i pouzdanost poluvodičkih proizvoda.
Opis nosača vafla obloženog tantal karbidom je sljedeći:
1. Izbor materijala: Tantal karbid je materijal sa odličnim performansama, visokom tvrdoćom, visokom tačkom topljenja, otpornošću na koroziju i odličnim mehaničkim svojstvima, tako da se široko koristi u procesu proizvodnje poluprovodnika.
2. Površinski premaz: Tantal karbid premaz se nanosi na površinu nosača pločice kroz poseban proces premazivanja kako bi se formirao ujednačen i gusti premaz od tantal karbida. Ovaj premaz može pružiti dodatnu zaštitu i otpornost na habanje, dok ima dobru toplinsku provodljivost.
3. Ravnost i preciznost: Nosač vafla obložen tantal-karbidom ima visok stepen ravnosti i preciznosti, osiguravajući stabilnost i tačnost vafla tokom procesa proizvodnje. Ravnost i završna obrada površine nosača su od ključne važnosti za osiguranje kvaliteta i performansi vafla.
4. Temperaturna stabilnost: Nosači vafla obloženi tantal-karbidom mogu održavati stabilnost u okruženjima visoke temperature bez deformacija ili labavljenja, osiguravajući stabilnost i konzistentnost vafla u procesima visoke temperature.
5. Otpornost na koroziju: Prevlake od tantal karbida imaju odličnu otpornost na koroziju, mogu se oduprijeti eroziji kemikalija i rastvarača i štite nosač od korozije tekućine i plina.
sa i bez TaC
Nakon upotrebe TaC (desno)
Štaviše, SemiceraProizvodi obloženi TaC-ompokazuju duži vijek trajanja i veću otpornost na visoke temperature u odnosu naSiC premazi.Laboratorijska mjerenja su pokazala da našaTaC premazimože postojati na temperaturama do 2300 stepeni Celzijusa tokom dužeg perioda. U nastavku su neki primjeri naših uzoraka:
