SemiceraTaC Coating Chuck, vrhunska vakuumska stezna glava opremljenaTaC premazi, posebno dizajniran za poluvodičke peći. Dizajnirana da ispuni rigorozne zahtjeve modernih procesa proizvodnje poluvodiča, ova inovativna tehnologija postavlja novi standard za preciznost, pouzdanost i dugovječnost.
U srcu proizvodnje poluprovodnika leži kritična potreba za preciznom kontrolom i stabilnošću tokom obrade. TaC Coating Chuck rješava ovu potrebu integracijom naprednogTaC (tantal karbid) premazina njegovu površinu, osiguravajući izuzetnu termičku stabilnost, izdržljivost i otpornost na hemijsku koroziju. Ova jedinstvena kombinacija materijala ne samo da poboljšava performanse stezne glave, već i produžava njen radni vijek, pružajući konzistentne rezultate u bezbroj ciklusa.
Jedna od ključnih prednosti TaC Coating Chuck-a je njegova sposobnost održavanja visokog nivoa integriteta vakuuma tokom cijelog ciklusa obrade. Efikasnim smanjenjem ispuštanja gasa i kontaminacije, ova tehnologija osigurava čistoću i kvalitet poluvodičkih materijala, što rezultira superiornim performansama i pouzdanošću uređaja.
Štaviše, TaC Coating Chuck nudi neusporedivu svestranost, prilagođavajući širok spektar poluvodičkih podloga različitih veličina i geometrija. Prilagodljivi dizajn TaC Coating Chuck-a omogućava besprekornu integraciju u postojeće poluprovodničke sisteme peći, minimizirajući zastoje i maksimizirajući produktivnost.
Sa TaC Coating Chuck, proizvođači poluprovodnika mogu postići veću propusnost, poboljšani prinos i smanjene ukupne troškove. Bilo da se radi o istraživačkim laboratorijama ili proizvodnim pogonima velikog obima, ova napredna tehnologija osnažuje profesionalce u oblasti poluvodiča da pomjeraju granice inovacija uz održavanje strogih standarda kvaliteta.
sa i bez TaC
Nakon upotrebe TaC-a (desno)
Štaviše, SemiceraProizvodi obloženi TaC-ompokazuju duži vijek trajanja i veću otpornost na visoke temperature u odnosu naSiC premazi.Laboratorijska mjerenja su pokazala da našaTaC premazimože konzistentno raditi na temperaturama do 2300 stepeni Celzijusa tokom dužeg perioda. U nastavku su neki primjeri naših uzoraka: