Grafitni lim obložen tantal karbidomje grafitni materijal sa tankim slojemtantal karbidana površini podloge. Tanki sloj tantal karbida se obično formira na površini grafitne podloge tehnikama kao što su fizičko taloženje parom (PVD) ili hemijsko taloženje parom (CVD). Ovaj premaz ima izvrsna svojstva kao što su visoka tvrdoća, odlična otpornost na habanje, otpornost na koroziju i stabilnost na visokim temperaturama.
Semicera obezbeđuje specijalizovane premaze od tantal karbida (TaC) za različite komponente i nosače.Semicera vodeći proces premazivanja omogućava premazima od tantal karbida (TaC) da postignu visoku čistoću, visoku temperaturnu stabilnost i visoku hemijsku toleranciju, poboljšavajući kvalitet proizvoda SIC/GAN kristala i EPI slojeva (TaC susceptor obložen grafitom) i produži život ključnih komponenti reaktora. Upotreba TaC premaza od tantal karbida je rješavanje problema ivica i poboljšanje kvalitete rasta kristala, a Semicera je proboj riješila tehnologiju premaza tantal karbida (CVD), dostigavši međunarodni napredni nivo.
Nakon godina razvoja, Semicera je osvojila tehnologijuCVD TaCzajedničkim naporima odjela za istraživanje i razvoj. Lako se javljaju defekti u procesu rasta SiC pločica, ali nakon upotrebeTaC, razlika je značajna. Ispod je poređenje vafla sa i bez TaC, kao i Simicerinih dijelova za rast monokristala.
Glavne prednosti grafitnog lima obloženog tantal karbidom uključuju:
1. Otpornost na visoke temperature: Tantal karbid ima visoku tačku topljenja i odličnu stabilnost na visokim temperaturama, što čini obloženu grafitnu ploču pogodnom za upotrebu u okruženjima s visokim temperaturama.
2. Otpornost na koroziju: Tantal karbid premaz može odoljeti eroziji mnogih kemijskih korozivnih tvari i produžiti vijek trajanja materijala.
3. Visoka tvrdoća: Visoka tvrdoća tankog sloja tantal karbida pruža dobru otpornost na habanje i pogodna je za primjene koje zahtijevaju visoku otpornost na habanje.
4. Hemijska stabilnost: Tantal karbid premaz ima odličnu stabilnost na hemijsku koroziju i pogodan je za upotrebu u nekim korozivnim medijima.
sa i bez TaC
Nakon upotrebe TaC-a (desno)
Štaviše, SemiceraProizvodi obloženi TaC-ompokazuju duži vijek trajanja i veću otpornost na visoke temperature u odnosu naSiC premazi.Laboratorijska mjerenja su pokazala da našaTaC premazimože konzistentno raditi na temperaturama do 2300 stepeni Celzijusa tokom dužeg perioda. U nastavku su neki primjeri naših uzoraka:
