Potporna ploča suceptora obložena tantal-karbidomje susceptor ili noseća struktura koja je prekrivena tankim slojemtantal karbida. Ovaj premaz se može formirati na površini suceptora tehnikama kao što su fizičko taloženje pare (PVD) ili hemijsko taloženje pare (CVD), dajući suceptoru superiorna svojstvatantal karbida.
Semicera obezbeđuje specijalizovane premaze od tantal karbida (TaC) za različite komponente i nosače.Semicera vodeći proces premazivanja omogućava premazima od tantal karbida (TaC) da postignu visoku čistoću, visoku temperaturnu stabilnost i visoku hemijsku toleranciju, poboljšavajući kvalitet proizvoda SIC/GAN kristala i EPI slojeva (TaC susceptor obložen grafitom) i produži život ključnih komponenti reaktora. Upotreba TaC premaza od tantal karbida je rješavanje problema ivica i poboljšanje kvalitete rasta kristala, a Semicera je proboj riješila tehnologiju premaza tantal karbida (CVD), dostigavši međunarodni napredni nivo.
Nakon godina razvoja, Semicera je osvojila tehnologijuCVD TaCzajedničkim naporima odjela za istraživanje i razvoj. Lako se javljaju defekti u procesu rasta SiC pločica, ali nakon upotrebeTaC, razlika je značajna. Ispod je poređenje vafla sa i bez TaC, kao i Simicerinih dijelova za rast monokristala.
Glavne karakteristike osnovnih potpornih ploča obloženih tantal karbidom uključuju:
1. Stabilnost na visokim temperaturama: Tantal karbid ima odličnu stabilnost na visokim temperaturama, čineći obloženu osnovnu potpornu ploču pogodnom za potrebe podrške u radnim okruženjima na visokim temperaturama.
2. Otpornost na koroziju: Tantal karbid premaz ima dobru otpornost na koroziju, može odoljeti hemijskoj koroziji i oksidaciji i produžiti vijek trajanja baze.
3. Visoka tvrdoća i otpornost na habanje: Visoka tvrdoća premaza od tantal karbida daje osnovnoj potpornoj ploči dobru otpornost na habanje, što je pogodno za prilike koje zahtijevaju visoku otpornost na habanje.
4. Hemijska stabilnost: Tantal-karbid ima visoku stabilnost na razne hemijske supstance, što čini da obložena osnovna potporna ploča dobro funkcioniše u nekim korozivnim okruženjima.
sa i bez TaC
Nakon upotrebe TaC-a (desno)
Štaviše, SemiceraProizvodi obloženi TaC-ompokazuju duži vijek trajanja i veću otpornost na visoke temperature u odnosu naSiC premazi.Laboratorijska mjerenja su pokazala da našaTaC premazimože konzistentno raditi na temperaturama do 2300 stepeni Celzijusa tokom dužeg perioda. U nastavku su neki primjeri naših uzoraka:
