Wafer Cassette

Kratak opis:

Wafer Cassette– Precizno dizajnirano za sigurno rukovanje i skladištenje poluvodičkih pločica, osiguravajući optimalnu zaštitu i čistoću tokom procesa proizvodnje.


Detalji o proizvodu

Oznake proizvoda

Semicera'sWafer Cassetteje kritična komponenta u procesu proizvodnje poluvodiča, dizajnirana za sigurno držanje i transport osjetljivih poluvodičkih pločica. TheWafer Cassettepruža izuzetnu zaštitu, osiguravajući da svaka pločica bude zaštićena od zagađivača i fizičkih oštećenja tokom rukovanja, skladištenja i transporta.

Semicera je izrađena od materijala visoke čistoće, otpornih na kemikalijeWafer Cassettegarantuje najviši nivo čistoće i trajnosti, što je neophodno za održavanje integriteta vafla u svakoj fazi proizvodnje. Precizni inženjering ovih kaseta omogućava besprekornu integraciju sa automatizovanim sistemima za rukovanje, minimizirajući rizik od kontaminacije i mehaničkih oštećenja.

DizajnWafer Cassettetakođe podržava optimalan protok vazduha i kontrolu temperature, što je ključno za procese koji zahtevaju specifične uslove okoline. Bilo da se koristi u čistim prostorijama ili tokom termičke obrade, SemiceraWafer Cassetteje dizajniran da zadovolji stroge zahtjeve industrije poluvodiča, pružajući pouzdane i dosljedne performanse za poboljšanje efikasnosti proizvodnje i kvaliteta proizvoda.

Predmeti

Proizvodnja

Istraživanja

Dummy

Crystal Parameters

Polytype

4H

Greška u orijentaciji površine

<11-20 >4±0,15°

Električni parametri

Dopant

n-tip dušika

Otpornost

0,015-0,025 ohm·cm

Mehanički parametri

Prečnik

150,0±0,2 mm

Debljina

350±25 μm

Primarna ravna orijentacija

[1-100]±5°

Primarna ravna dužina

47,5±1,5 mm

Sekundarni stan

Nema

TTV

≤5 μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤3 μm (5mm*5mm)

≤5 μm (5mm*5mm)

≤10 μm (5mm*5mm)

Naklon

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Warp

≤35 μm

≤45 μm

≤55 μm

Prednja (Si-face) hrapavost (AFM)

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Struktura

Gustoća mikropipe

<1 ea/cm2

<10 ea/cm2

<15 ea/cm2

Metalne nečistoće

≤5E10atoma/cm2

NA

BPD

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

NA

TSD

≤500 ea/cm2

≤1000 ea/cm2

NA

Front Quality

Front

Si

Završna obrada

Si-face CMP

Čestice

≤60ea/wafer (veličina≥0.3μm)

NA

Ogrebotine

≤5ea/mm. Kumulativna dužina ≤Prečnik

Kumulativna dužina≤2*Prečnik

NA

Narandžina kora/kostice/mrlje/pruge/pukotine/kontaminacija

Nema

NA

Ivične strugotine/udubljenja/frakture/heksadecimalne ploče

Nema

Politipske oblasti

Nema

Kumulativna površina≤20%

Kumulativna površina≤30%

Prednje lasersko označavanje

Nema

Back Quality

Zadnji završetak

C-face CMP

Ogrebotine

≤5ea/mm, kumulativna dužina≤2*Prečnik

NA

Defekti na leđima (ivičnjaci/udubljenja)

Nema

Hrapavost leđa

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Lasersko označavanje leđa

1 mm (od gornje ivice)

Edge

Edge

Chamfer

Pakovanje

Pakovanje

Epi-ready sa vakum pakovanjem

Multi-wafer kaseta pakovanje

*Napomene: "NA" znači da nema zahtjeva. Stavke koje nisu spomenute mogu se odnositi na SEMI-STD.

tech_1_2_size
SiC wafers

  • Prethodno:
  • sljedeće: