Ruka za rukovanje pločicamaje ključna oprema koja se koristi u procesu proizvodnje poluvodiča za rukovanje, prijenos i pozicioniranjenapolitanke. Obično se sastoji od robotske ruke, hvataljke i kontrolnog sistema, sa mogućnostima preciznog kretanja i pozicioniranja.Ruke za rukovanje pločicamase naširoko koriste u različitim vezama u proizvodnji poluvodiča, uključujući procesne korake kao što su punjenje pločica, čišćenje, taloženje tankog filma, jetkanje, litografija i inspekcija. Njegova preciznost, pouzdanost i mogućnosti automatizacije su ključne za osiguranje kvaliteta, efikasnosti i konzistentnosti proizvodnog procesa.
Glavne funkcije ruke za rukovanje pločicama uključuju:
1. Prenos vafla: Ruka za rukovanje pločicama može precizno prenijeti oblatne s jedne lokacije na drugu, kao što je uzimanje vafla iz police za skladištenje i njihovo postavljanje u uređaj za obradu.
2. Pozicioniranje i orijentacija: Ruka za rukovanje pločicom je u stanju da precizno pozicionira i orijentiše pločicu kako bi se osiguralo ispravno poravnanje i položaj za naknadnu obradu ili operacije mjerenja.
3. Stezanje i otpuštanje: Ruke za rukovanje pločicama obično su opremljene hvataljkama koje mogu bezbedno stegnuti oblatne i otpustiti ih kada je to potrebno kako bi se obezbedio siguran prenos i rukovanje oblatnama.
4. Automatska kontrola: Ruka za rukovanje pločicama je opremljena naprednim kontrolnim sistemom koji može automatski izvršiti unaprijed određene sekvence akcija, poboljšati efikasnost proizvodnje i smanjiti ljudske greške.
Karakteristike i prednosti
1. Precizne dimenzije i termička stabilnost.
2. Visoka specifična krutost i odlična termička uniformnost, dugotrajna upotreba nije lako savijati deformaciju.
3. Ima glatku površinu i dobru otpornost na habanje, tako da bezbedno rukuje čipom bez kontaminacije česticama.
4. Otpornost silicijum karbida u 106-108Ω, nemagnetna, u skladu sa zahtevima za anti-ESD specifikaciju; Može spriječiti nakupljanje statičkog elektriciteta na površini čipa.
5.Dobra toplotna provodljivost, nizak koeficijent ekspanzije.
