Poluvodički materijali treće generacije uglavnom uključuju SiC, GaN, dijamant, itd., jer je njegova širina pojasnog pojasa (Eg) veća ili jednaka 2,3 elektron volta (eV), također poznati kao poluvodički materijali sa širokim pojasom. U poređenju sa poluprovodničkim materijalima prve i druge generacije, poluprovodnički materijali treće generacije imaju prednosti visoke toplotne provodljivosti, visokog električnog polja, visoke zasićene brzine migracije elektrona i visoke energije vezivanja, što može zadovoljiti nove zahteve moderne elektronske tehnologije za visoke temperatura, velika snaga, visoki pritisak, visoka frekvencija i otpornost na zračenje i druge teške uslove. Ima važne izglede za primjenu u oblastima nacionalne odbrane, avijacije, svemira, istraživanja nafte, optičkog skladištenja, itd., i može smanjiti gubitak energije za više od 50% u mnogim strateškim industrijama kao što su širokopojasne komunikacije, solarna energija, proizvodnja automobila, poluprovodničke rasvjete i pametne mreže, te mogu smanjiti zapreminu opreme za više od 75%, što je od prekretnice za razvoj ljudske nauke i tehnologije.
Stavka 项目 | GaN-FS-CU-C50 | GaN-FS-CN-C50 | GaN-FS-C-SI-C50 |
Prečnik | 50,8 ± 1 mm | ||
Debljina厚度 | 350 ± 25 μm | ||
Orijentacija | C ravan (0001) izvan ugla prema M-osi 0,35 ± 0,15° | ||
Prime Flat | (1-100) 0 ± 0,5°, 16 ± 1 mm | ||
Sekundarni stan | (11-20) 0 ± 3°, 8 ± 1 mm | ||
Provodljivost | N-tip | N-tip | Poluizolirajuće |
Otpornost (300K) | < 0,1 Ω·cm | < 0,05 Ω·cm | > 106 Ω·cm |
TTV | ≤ 15 μm | ||
BOW | ≤ 20 μm | ||
Ga Face Surface Surface | < 0,2 nm (polirano); | ||
ili < 0,3 nm (polirano i površinska obrada za epitaksiju) | |||
N Hrapavost površine lica | 0,5 ~1,5 μm | ||
opcija: 1~3 nm (fino brušeno); < 0,2 nm (polirano) | |||
Gustoća dislokacije | Od 1 x 105 do 3 x 106 cm-2 (izračunato po CL)* | ||
Gustina makro defekta | < 2 cm-2 | ||
Upotrebna površina | > 90% (isključenje ivica i makro defekata) | ||
Može se prilagoditi prema zahtjevima kupaca, različita struktura silikona, safira, GaN epitaksijalne ploče na bazi SiC. |