Visokokvalitetan i ekonomičan premaz od tantal karbida (TaC).

Kratak opis:

Porozni tantal karbid se uglavnom koristi za filtraciju komponenti gasne faze, prilagođavanje lokalnog temperaturnog gradijenta, smjera protoka materijala, kontrolu curenja, itd. Može se koristiti s drugim čvrstim tantal karbidom (kompaktnim) ili tantal karbidnim premazom iz Semicera Technology za formiranje lokalnih komponenti sa različitom provodljivošću protoka.

 

 


Detalji o proizvodu

Oznake proizvoda

Semicera obezbeđuje specijalizovane premaze od tantal karbida (TaC) za različite komponente i nosače.Semicera vodeći proces premazivanja omogućava premazima od tantal karbida (TaC) da postignu visoku čistoću, visoku temperaturnu stabilnost i visoku hemijsku toleranciju, poboljšavajući kvalitet proizvoda SIC/GAN kristala i EPI slojeva (TaC susceptor obložen grafitom) i produži život ključnih komponenti reaktora. Upotreba TaC premaza od tantal karbida je rješavanje problema ivica i poboljšanje kvalitete rasta kristala, a Semicera je proboj riješila tehnologiju premaza tantal karbida (CVD), dostigavši ​​međunarodni napredni nivo.

 

Nakon godina razvoja, Semicera je osvojila tehnologijuCVD TaCzajedničkim naporima odjela za istraživanje i razvoj. Lako se javljaju defekti u procesu rasta SiC pločica, ali nakon upotrebeTaC, razlika je značajna. Ispod je poređenje vafla sa i bez TaC, kao i Semicera' delova za rast monokristala

微信图片_20240227150045

sa i bez TaC

微信图片_20240227150053

Nakon upotrebe TaC-a (desno)

Osim toga, vijek trajanja proizvoda Semicera TaC premaza je duži i otporniji na visoke temperature od SiC premaza. Nakon dugog vremena laboratorijskih mjernih podataka, naš TaC može raditi dugo vremena na maksimalno 2300 stepeni Celzijusa. Ovo su neki od naših uzoraka:

微信截图_20240227145010

(a) Šematski dijagram uređaja za uzgoj monokristalnih ingota SiC PVT metodom (b) Gornji nosač za sjeme obložen TaC (uključujući sjeme SiC) (c) TAC obložen grafitni vodeći prsten

ZDFVzCFV
Glavna karakteristika
Semicera Radno mjesto
Radno mesto Semicera 2
Oprema mašina
CNN obrada, hemijsko čišćenje, CVD premazivanje
Naša usluga

  • Prethodno:
  • sljedeće: