Silicijum karbidna pločicaizrađen je od silikonskog praha visokog čistoće i visoke čistoće ugljični prah kao sirovine, a kristal silikonskih karbida uzgaja se fizičkim metodom prenosa pare (PVT) i prerađuje usilicijum karbidna pločica.
① Sinteza sirovina.Visok čistoć silikonski prah i prašak visoke čistoće pomiješani su po određenom omjeru, a čestice od karbida silicijuma sintetizirane su pri visokoj temperaturi iznad 2.000 ℃.Nakon drobljenja, čišćenja i drugih procesa, pripremaju se sirovine u prahu od silicijum karbida visoke čistoće koje zadovoljavaju zahteve rasta kristala.
Koristeći SIC prah visoke čistoće kao sirovinu, kristal je uzgojen metodom fizičkog prijenosa pare (PVT) korištenjem peći za uzgoj kristala koju sam razvio.
Dobijeni kristalni ingot silicijum karbida orijentisan je rendgenskim monokristalnim orijentatorom, zatim brušen i valjan i prerađen u kristal silicijum karbida standardnog prečnika.
④ Kristalno rezanje.Koristeći opremu za višelinijsko rezanje, kristali silicijum karbida se režu u tanke listove debljine ne veće od 1 mm.
⑥ Poliranje strugotina.
⑦ Detekcija čipa.Koristite optički mikroskop, rendgenski difraktometar, mikroskop atomske sile, beskontaktni tester otpornosti, tester ravnosti površine, sveobuhvatni tester defekta površine i druge instrumente i opremu za otkrivanje gustine mikrotubula, kvaliteta kristala, hrapavosti površine, otpornosti, savijanja, zakrivljenosti, thickness change, surface scratch and other parameters of silicon carbide wafer.
List za poliranje od silicijum karbida čisti se sredstvom za čišćenje i čistom vodom kako bi se uklonila zaostala tekućina za poliranje i druga površinska prljavština na polirnom listu, a zatim se pločica puha i osuši pomoću dušika ultra visoke čistoće i stroja za sušenje;Vafli se inkapsulira u čistu kutiju lista u super čistu komoru da formira nizvodno spremno za korištenje silikonskog karbidnog relata.
Što je veća veličina čipa, što je teže odgovarajuća tehnologija rasta i prerade kristala, a veća je proizvodna efikasnost nizvodnih uređaja, niže trošak jedinice.
Vrijeme objave: 24.11.2023