Podloge od silicijum karbida|SiC pločice

Kratak opis:

Semicera Energy Technology Co., Ltd. je vodeći dobavljač specijaliziran za vafle i napredne poluvodičke potrošne materijale. Posvećeni smo pružanju visokokvalitetnih, pouzdanih i inovativnih proizvoda za proizvodnju poluvodiča, fotonaponsku industriju i druga srodna polja.

Naša linija proizvoda uključuje SiC/TaC obložene grafitne proizvode i keramičke proizvode, koji obuhvataju različite materijale kao što su silicijum karbid, silicijum nitrid, aluminijum oksid itd.

Trenutno smo jedini proizvođač koji obezbeđuje čistoću od 99,9999% SiC premaza i 99,9% rekristalizovanog silicijum karbida. Maksimalna dužina SiC premaza koju možemo napraviti 2640mm.

Pošaljite nam email

Detalji o proizvodu

Oznake proizvoda

Monokristalni materijal od silicijum karbida (SiC) ima veliku širinu pojasa (~Si 3 puta), visoku toplotnu provodljivost (~Si 3,3 puta ili GaAs 10 puta), visoku stopu migracije zasićenja elektronima (~Si 2,5 puta), visok električni proboj. polje (~Si 10 puta ili GaAs 5 puta) i druge izvanredne karakteristike.

SiC uređaji imaju nezamjenjive prednosti u području visokih temperatura, visokog tlaka, visoke frekvencije, elektroničkih uređaja velike snage i ekstremnih primjena u okolišu kao što su zrakoplovstvo, vojska, nuklearna energija, itd., nadoknađuju nedostatke tradicionalnih uređaja od poluvodičkih materijala u praksi. aplikacijama, i postepeno postaju glavna struja energetskih poluvodiča.

4H-SiC Specifikacije supstrata od silicijum karbida

Item项目	Specifikacije参数
Polytype 晶型	4H -SiC	6H- SiC
Prečnik 晶圆直径	2 inča \| 3 inča \| 4 inča \| 6inch	2 inča \| 3 inča \| 4 inča \| 6inch
Debljina 厚度	330 μm ~ 350 μm	330 μm ~ 350 μm
Provodljivost 导电类型	N – tip / Poluizolacioni N型导电片/ 半绝缘片	N – tip / Poluizolacioni N型导电片/ 半绝缘片
Dopant 掺杂剂	N2 (Azot)V (Vanadijum)	N2 ( dušik ) V ( vanadij )
Orijentacija 晶向	Na osi <0001> Van ose <0001> isključeno 4°	Na osi <0001> Van ose <0001> isključeno 4°
Otpornost 电阻率	0,015 ~ 0,03 ohm-cm (4H-N)	0,02 ~ 0,1 ohm-cm (6H-N)
Gustoća mikropipe (MPD) 微管密度	≤10/cm2 ~ ≤1/cm2	≤10/cm2 ~ ≤1/cm2
TTV 总厚度变化	≤ 15 μm	≤ 15 μm
Luk / Warp 翘曲度	≤25 μm	≤25 μm
Površina 表面处理	DSP/SSP	DSP/SSP
Ocjena 产品等级	Proizvodna / istraživačka klasa	Proizvodna / istraživačka klasa
Slijed slaganja kristala 堆积方式	ABCB	ABCABC
Parametar rešetke 晶格参数	a=3,076A, c=10,053A	a=3,073A, c=15,117A
Npr./eV (pojasni razmak) 禁带宽度	3,27 eV	3,02 eV
ε (dielektrična konstanta) 介电常数	9.6	9.66
Indeks refrakcije 折射率	n0 =2,719 ne =2,777	n0 =2,707 , ne =2,755

Specifikacije podloge od 6H-SiC silicijum karbida

Item项目	Specifikacije参数
Polytype 晶型	6H-SiC
Prečnik 晶圆直径	4 inča \| 6inch
Debljina 厚度	350μm ~ 450μm
Provodljivost 导电类型	N – tip / Poluizolacioni N型导电片/ 半绝缘片
Dopant 掺杂剂	N2 (Azot) V (vanadij)
Orijentacija 晶向	<0001> isključeno 4°± 0,5°
Otpornost 电阻率	0,02 ~ 0,1 ohm-cm (6H-N tip)
Gustoća mikropipe (MPD) 微管密度	≤ 10/cm2
TTV 总厚度变化	≤ 15 μm
Luk / Warp 翘曲度	≤25 μm
Površina 表面处理	Si Face: CMP, Epi-Ready C lice: optički lak
Ocjena 产品等级	Istraživačka ocjena