Monokristalni materijal od silicijum karbida (SiC) ima veliku širinu pojasa (~Si 3 puta), visoku toplotnu provodljivost (~Si 3,3 puta ili GaAs 10 puta), visoku stopu migracije zasićenja elektronima (~Si 2,5 puta), visok električni proboj. polje (~Si 10 puta ili GaAs 5 puta) i druge izvanredne karakteristike.
SiC uređaji imaju nezamjenjive prednosti u području visokih temperatura, visokog tlaka, visoke frekvencije, elektronskih uređaja velike snage i ekstremnih primjena u okolišu kao što su svemirska, vojna, nuklearna energija, itd., nadoknađuju nedostatke tradicionalnih uređaja od poluvodičkih materijala u praksi. aplikacijama, i postepeno postaju glavna struja energetskih poluvodiča.
4H-SiC Specifikacije supstrata od silicijum karbida
Item项目 | Specifikacije参数 | |
Polytype | 4H -SiC | 6H- SiC |
Prečnik | 2 inča | 3 inča | 4 inča | 6inch | 2 inča | 3 inča | 4 inča | 6inch |
Debljina | 330 μm ~ 350 μm | 330 μm ~ 350 μm |
Provodljivost | N – tip / Poluizolacioni | N – tip / Poluizolacioni |
Dopant | N2 (Azot)V (Vanadijum) | N2 ( dušik ) V ( vanadij ) |
Orijentacija | Na osi <0001> | Na osi <0001> |
Otpornost | 0,015 ~ 0,03 ohm-cm | 0,02 ~ 0,1 ohm-cm |
Gustoća mikropipe (MPD) | ≤10/cm2 ~ ≤1/cm2 | ≤10/cm2 ~ ≤1/cm2 |
TTV | ≤ 15 μm | ≤ 15 μm |
Luk / Warp | ≤25 μm | ≤25 μm |
Površina | DSP/SSP | DSP/SSP |
Ocjena | Proizvodna / istraživačka klasa | Proizvodna / istraživačka klasa |
Slijed slaganja kristala | ABCB | ABCABC |
Parametar rešetke | a=3,076A, c=10,053A | a=3,073A, c=15,117A |
Npr./eV (pojasni razmak) | 3,27 eV | 3,02 eV |
ε (dielektrična konstanta) | 9.6 | 9.66 |
Indeks refrakcije | n0 =2,719 ne =2,777 | n0 =2,707 , ne =2,755 |
Specifikacije podloge od 6H-SiC silicijum karbida
Item项目 | Specifikacije参数 |
Polytype | 6H-SiC |
Prečnik | 4 inča | 6inch |
Debljina | 350μm ~ 450μm |
Provodljivost | N – tip / Poluizolacioni |
Dopant | N2 (Azot) |
Orijentacija | <0001> isključeno 4°± 0,5° |
Otpornost | 0,02 ~ 0,1 ohm-cm |
Gustoća mikropipe (MPD) | ≤ 10/cm2 |
TTV | ≤ 15 μm |
Luk / Warp | ≤25 μm |
Površina | Si Face: CMP, Epi-Ready |
Ocjena | Istraživačka ocjena |