Opis
CVD-SiC premaz ima karakteristike uniformne strukture, kompaktnog materijala, otpornosti na visoke temperature, otpornosti na oksidaciju, visoke čistoće, otpornosti na kiseline i alkalije i organskog reagensa, sa stabilnim fizičkim i hemijskim svojstvima.
U poređenju sa grafitnim materijalima visoke čistoće, grafit počinje oksidirati na 400C, što će uzrokovati gubitak praha zbog oksidacije, što će rezultirati zagađenjem okoliša perifernih uređaja i vakuumskih komora, te povećati nečistoće okoline visoke čistoće.
Međutim, SiC premaz može održati fizičku i hemijsku stabilnost na 1600 stepeni, široko se koristi u modernoj industriji, posebno u industriji poluprovodnika.
Nosači vafla obloženi SiC-om imaju sljedeće prednosti:
1. Visoka toplotna provodljivost: Silicijum karbid ima visoku toplotnu provodljivost i može efikasno da prevede generisanu toplotu iz pločice u okolinu, poboljšavajući efikasnost upravljanja toplotom u procesu.
2. Otpornost na visoke temperature: SiC materijali mogu održati strukturnu stabilnost i mehaničku čvrstoću u visokotemperaturnim okruženjima i pogodni su za poluvodičke procese sa obradom na visokim temperaturama.
3. Hemijska inertnost: SiC ima visoku otpornost na hemijsku koroziju i oksidaciju i može zaštititi nosače pločica od korozivnih gasova i hemikalija.
4. Ravnost površine: SiC premazi mogu pružiti ujednačenu i ravnu površinu, što pomaže u preciznom pozicioniranju i stabilnosti vafla.
Ove karakteristike čine nosače pločica sa prevlakom od silicijum karbida široko korištenim u procesima na visokim temperaturama, energetskim poluvodičima i drugim aplikacijama koje zahtijevaju visoku toplinsku provodljivost i otpornost na visoke temperature.
Glavne karakteristike
1 .SiC presvučen grafit visoke čistoće
2. Vrhunska otpornost na toplinu i termička uniformnost
3. Fini SiC kristal obložen za glatku površinu
4. Visoka otpornost na hemijsko čišćenje
Glavne specifikacije CVD-SIC premaza:
| SiC-CVD | ||
| Gustina | (g/cc) | 3.21 |
| Čvrstoća na savijanje | (Mpa) | 470 |
| Toplotna ekspanzija | (10-6/K) | 4 |
| Toplotna provodljivost | (W/mK) | 300 |
Pakovanje i dostava
Sposobnost nabavke:
10000 komada/komada mjesečno
Pakovanje i dostava:
Pakovanje: standardno i jako pakovanje
Poli vrećica + kutija + karton + paleta
luka:
Ningbo/Shenzhen/Shanghai
Vrijeme isporuke:
| Količina (komada) | 1 – 1000 | >1000 |
| Procjena vrijeme (dani) | 15 | Treba pregovarati |
